[发明专利]一种光刻机之照明光瞳均一性补偿装置及其补偿方法有效
| 申请号： | 201610318449.1 | 申请日： | 2016-05-13 |
| 公开（公告）号： | CN105739250B | 公开（公告）日： | 2017-10-27 |
| 发明（设计）人： | 张浩;谢华;朱克俭 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)31237 | 代理人： | 智云 |
| 地址： | 201203 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种光刻机之照明光瞳均一性补偿装置，包括滤片槽轮盘，其上呈圆周间隔设置滤片槽；锁固部件，其外圈设置卡口，并通过定位栓固定设置在滤片槽轮盘之滤片槽内，且外周上设置齿轮牙纹；补偿滤片，固定设置在锁固部件内圈；主动齿轮，其齿轮与锁固部件之齿轮牙纹相啮合，并通过联轴器在驱动电机的作用下转动。本发明通过在锁固部件的外周上设置齿轮牙纹，并与通过联轴器在驱动电机的作用下进行转动的主动齿轮之齿轮相啮合，以在驱动电机的作用下进行旋转，且通过驱动电机启动旋转固定计数，不仅可以实现补偿滤片进行90°自动旋转，减少相同补偿滤片的重复安装，而且使得同一补偿滤片根据需要可满足X、Y方向的亮度调节，节省滤片槽的位置。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光刻 明光 均一 补偿 装置 及其 方法 | ||
【主权项】：
一种光刻机之照明光瞳均一性补偿装置，其特征在于，所述光刻机之照明光瞳均一性补偿装置，包括：滤片槽轮盘，所述滤片槽轮盘上呈圆周间隔设置滤片槽；锁固部件，所述锁固部件之外圈设置卡口，并通过设置在所述卡口内的定位栓固定设置在所述滤片槽轮盘之滤片槽内，且在所述锁固部件之外周上设置齿轮牙纹；补偿滤片，所述补偿滤片固定设置在所述锁固部件内圈；主动齿轮，所述主动齿轮之齿轮与所述锁固部件之外周上的齿轮牙纹相啮合，并通过联轴器在驱动电机的作用下进行转动；所述定位栓能够退避卡口，旋转后再次回归卡口，实现锁固。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海华力微电子有限公司，未经上海华力微电子有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201610318449.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
