[发明专利]一种光刻机之照明光瞳均一性补偿装置及其补偿方法有效
| 申请号： | 201610318449.1 | 申请日： | 2016-05-13 |
| 公开（公告）号： | CN105739250B | 公开（公告）日： | 2017-10-27 |
| 发明（设计）人： | 张浩;谢华;朱克俭 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)31237 | 代理人： | 智云 |
| 地址： | 201203 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 光刻 明光 均一 补偿 装置 及其 方法 | ||
1.一种光刻机之照明光瞳均一性补偿装置，其特征在于，所述光刻机之照明光瞳均一性补偿装置，包括：
滤片槽轮盘，所述滤片槽轮盘上呈圆周间隔设置滤片槽；
锁固部件，所述锁固部件之外圈设置卡口，并通过设置在所述卡口内的定位栓固定设置在所述滤片槽轮盘之滤片槽内，且在所述锁固部件之外周上设置齿轮牙纹；
补偿滤片，所述补偿滤片固定设置在所述锁固部件内圈；
主动齿轮，所述主动齿轮之齿轮与所述锁固部件之外周上的齿轮牙纹相啮合，并通过联轴器在驱动电机的作用下进行转动；
所述定位栓能够退避卡口，旋转后再次回归卡口，实现锁固。
2.如权利要求1所述光刻机之照明光瞳均一性补偿装置，其特征在于，所述锁固部件之外圈设置的卡口数量为4个。
3.如权利要求2所述光刻机之照明光瞳均一性补偿装置，其特征在于，所述锁固部件之外圈设置的卡口在X方向和Y方向上互成90°。
4.如权利要求1所述光刻机之照明光瞳均一性补偿装置，其特征在于，所述滤片槽轮盘上设置的滤片槽之数量为12个。
5.如权利要求4所述光刻机之照明光瞳均一性补偿装置，其特征在于，所述滤片槽内设置的补偿滤片具有不同的光学透过率。
6.一种如权利要求1所述光刻机之照明光瞳均一性补偿装置的补偿方法，其特征在于，当所述滤片槽转到补偿位置，且不需要改变补偿滤片90°位置时，通过所述定位栓将所述锁固部件固定设置在所述滤片槽轮盘之滤片槽处；当所述滤片槽转到补偿位置，且需要改变补偿滤片90°位置时，所述定位栓退避卡口，并在所述驱动电机的作用下旋转90°后再次回归卡口，实现锁固。
7.如权利要求6所述光刻机之照明光瞳均一性补偿装置的补偿方法，其特征在于，所述定位栓退避卡口和回归卡口的动作均通过压力气缸控制。
8.如权利要求7所述光刻机之照明光瞳均一性补偿装置的补偿方法，其特征在于，当所述压力气缸充满压缩干燥空气时，所述定位栓退避卡口；当所述压力气缸释放压缩空气时，所述定位栓回归卡口。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海华力微电子有限公司，未经上海华力微电子有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201610318449.1/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
