[发明专利]镂空热膜式流量传感器及其制作集成方法在审
| 申请号： | 201610312506.5 | 申请日： | 2016-05-12 |
| 公开（公告）号： | CN106017587A | 公开（公告）日： | 2016-10-12 |
| 发明（设计）人： | 崔雁红;王丽君;蔡琳 | 申请（专利权）人： | 北京启芯传感科技有限公司 |
| 主分类号： | G01F1/692 | 分类号： | G01F1/692 |
| 代理公司： | 苏州根号专利代理事务所(普通合伙)32276 | 代理人： | 项丽 |
| 地址： | 101400 北京市怀*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种镂空热膜式流量传感器及其制作集成方法，镂空热膜式流量传感器包括流量传感器单元和信号控制与处理电路单元，流量传感器单元包括硅衬底、位于该硅衬底上并具有加热电阻及多个测温元件的薄膜结构，连接加热电阻及多个测温元件的各信号引线通过TSV技术引到流量传感器单元的背面，并与信号控制与处理电路单元通过键合的方式集成连接。 | ||
| 搜索关键词： | 镂空 热膜式 流量传感器 及其 制作 集成 方法 | ||
【主权项】：
一种镂空热膜式流量传感器，其特征在于：它包括流量传感器单元（1）和信号控制与处理电路单元（2），所述的流量传感器单元（1）包括硅衬底（11）、位于该硅衬底（11）上并具有加热电阻（150）及多个测温元件的薄膜结构，所述的硅衬底（11）具有绝热空腔（111），所述薄膜结构的位于该绝热空腔（111）上方的部分被定义为热膜，连接所述加热电阻（150）及多个测温元件的各信号引线（17）通过TSV技术引到所述流量传感器单元（1）的背面，并与所述信号控制与处理电路单元（2）通过键合的方式集成连接。
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