[发明专利]镂空热膜式流量传感器及其制作集成方法在审
| 申请号： | 201610312506.5 | 申请日： | 2016-05-12 |
| 公开（公告）号： | CN106017587A | 公开（公告）日： | 2016-10-12 |
| 发明（设计）人： | 崔雁红;王丽君;蔡琳 | 申请（专利权）人： | 北京启芯传感科技有限公司 |
| 主分类号： | G01F1/692 | 分类号： | G01F1/692 |
| 代理公司： | 苏州根号专利代理事务所(普通合伙)32276 | 代理人： | 项丽 |
| 地址： | 101400 北京市怀*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 镂空 热膜式 流量传感器 及其 制作 集成 方法 | ||
【说明书】：
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