[发明专利]一种人民币防伪检测传感器及其制备方法

摘要

本发明提供一种人民币防伪检测传感器及其制备方法，包括：单片集成的紫外发光二极管、蓝光光敏二极管及绿光光敏二极管；提供一衬底，根据设计布局在所述衬底上刻蚀沟槽，确定紫外发光二极管的位置；在所述沟槽内逐层形成缓冲层、N型外延层及P型外延层；在所述衬底及所述P型外延层表面形成第一保护层；采用离子注入方式在所述衬底中形成掺杂区，所述掺杂区与所述衬底形成光敏二极管；分别制作各器件的接触电极，并在光敏二极管的表面分别形成蓝光滤光膜和绿光滤光膜。本发明将紫外发光二极管、蓝光光敏二极管及绿光光敏二极管集成于同一衬底上，大大减小了人民币防伪检测传感器的体积和生产成本，扩大了人民币防伪检测传感器的应用面。

主权项

1.一种人民币防伪检测传感器，其特征在于，所述人民币防伪检测传感器至少包括：/n单片集成的紫外发光二极管、蓝光光敏二极管及绿光光敏二极管；/n所述紫外发光二极管包括位于衬底上的缓冲层，位于所述缓冲层上的N型外延层以及位于所述N型外延层上的P型外延层，所述紫外发光二极管发出紫外光；/n所述蓝光光敏二极管包括位于所述衬底上的掺杂区，位于掺杂区上的保护层以及位于所述保护层上的蓝光滤光膜，所述蓝光光敏二极管用于检测蓝光；/n所述绿光光敏二极管包括位于所述衬底上的掺杂区，位于掺杂区上的保护层以及位于所述保护层上的绿光滤光膜，所述绿光光敏二极管用于检测绿光。/n