[发明专利]薄膜压电元件及其制造方法有效
| 申请号： | 201610281538.3 | 申请日： | 2016-04-28 |
| 公开（公告）号： | CN107342357B | 公开（公告）日： | 2022-08-16 |
| 发明（设计）人： | 熊伟;饭岛淳;野口隆男 | 申请（专利权）人： | 新科实业有限公司 |
| 主分类号： | H01L41/08 | 分类号： | H01L41/08;H01L41/083;H01L41/22 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 郝传鑫 |
| 地址： | 中国香港新界沙田香*** | 国省代码： | 香港;81 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种外延生长薄膜压电元件的制造方法，包括：提供一衬底；在所述衬底上通过外延生长形成下电极层；在所述下电极层上通过外延生长形成c轴取向的第一压电层；在所述第一压电层上通过外延生长形成c轴取向且成分相结构不同于所述第一压电层的第二压电层；以及在所述第二压电层形成上电极层。其能获得出色的热稳定性，较低的温度系数以及较大的压电常数。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜 压电 元件 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种外延生长薄膜压电元件的制造方法，包括：提供一衬底；在所述衬底上通过外延生长形成下电极层；在所述下电极层上通过外延生长形成c轴取向的第一压电层；在所述第一压电层上通过外延生长形成c轴取向且成分相结构不同于所述第一压电层的第二压电层；以及在所述第二压电层形成上电极层。
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