[发明专利]一种补强结构强化蓝宝石基板及其制备方法在审

专利信息
申请号: 201610278473.7 申请日: 2016-04-28
公开(公告)号: CN105955559A 公开(公告)日: 2016-09-21
发明(设计)人: 黄小卫 申请(专利权)人: 黄小卫;元亮科技有限公司
主分类号: G06F3/044 分类号: G06F3/044;C23C16/455
代理公司: 无锡市大为专利商标事务所(普通合伙) 32104 代理人: 殷红梅;涂三民
地址: 214037 江苏省无锡市*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明公开了一种补强结构强化蓝宝石基板,包括蓝宝石基板,在蓝宝石基板上开设有工艺孔,在蓝宝石基板的上表面、下表面、四周侧面以及工艺孔的内壁均设有补强结构层,且补强结构层为单晶氧化铝膜层或者玻璃态氧化铝膜层。其制备方法主要包括:蓝宝石基板表面吸附三甲基铝、惰性气体吹淋多余的三甲基铝蒸汽、补强结构层的形成以及惰性气体吹淋多余的氧化性气体步骤,本发明采用原子层气相沉积蓝宝石单晶膜层或玻璃态氧化铝膜层对基板进行强化,制备出能够极大提高并稳定蓝宝石基板薄片的机械强度、尤其是手机触摸屏行业的相关的各类机械抗摔抗压强度,并减少产品厚度、降低成本的电容触摸屏用的蓝宝石基板。
搜索关键词: 一种 结构 强化 蓝宝石 及其 制备 方法
【主权项】:
 一种补强结构强化蓝宝石基板,包括蓝宝石基板(1),在蓝宝石基板(1)上开设有工艺孔(2),其特征是:在蓝宝石基板(1)的上表面、下表面、四周侧面以及工艺孔(2)的内壁均设有补强结构层(3),且所述补强结构层(3)为单晶氧化铝膜层或者玻璃态氧化铝膜层。
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