[发明专利]用于微机械传感器的振动感测元件有效
| 申请号： | 201610269617.2 | 申请日： | 2016-04-27 |
| 公开（公告）号： | CN106093470B | 公开（公告）日： | 2020-11-13 |
| 发明（设计）人： | G·N·C·乌尔希里;B·P·赫措根拉特 | 申请（专利权）人： | 罗伯特·博世有限公司 |
| 主分类号： | G01P15/097 | 分类号： | G01P15/097;B81B7/02;B81C1/00 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 侯鸣慧 |
| 地址： | 德国斯*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种用于微机械传感器的振动感测元件(100)，具有第一功能层(EP)、第二功能层(OK)和第三功能层(FP)，其中，所述第二功能层(OK)布置在所述第一功能层(EP)和所述第三功能层(FP)之间，在所述第二功能层(OK)中构造有限定数量的空穴(50)，在所述空穴(50)之间布置有增强元件(60)，所述增强元件与所述第一功能层(EP)和与所述第三功能层(FP)固定连接。本发明还涉及一种具有所述振动感测元件(100)的微机械传感器一种用于制造微机械传感器用的振动感测元件(100)的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 微机 传感器 振动 元件 | ||
【主权项】：
用于微机械传感器的振动感测元件(100)，具有：‑第一功能层(EP)、第二功能层(OK)和第三功能层(FP)，其中，所述第二功能层(OK)布置在所述第一功能层(EP)和所述第三功能层(FP)之间；其中，‑在所述第二功能层(OK)中构造有限定数量的空穴(50)；其中，‑在所述空穴(50)之间布置有增强元件(60)，所述增强元件与所述第一功能层(EP)并与所述第三功能层(FP)固定连接。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于罗伯特·博世有限公司，未经罗伯特·博世有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201610269617.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
