[发明专利]一种测试设备及测试方法有效
| 申请号： | 201610251453.0 | 申请日： | 2016-04-21 |
| 公开（公告）号： | CN105845596B | 公开（公告）日： | 2018-12-04 |
| 发明（设计）人： | 王文涛;杨璐;徐海峰;司晓文 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司 |
| 主分类号： | H01L21/66 | 分类号： | H01L21/66;H01L23/544 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 许静;黄灿 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种测试设备，用于测量显示基板上定位标记的位置，包括：用于测量待测显示基板上定位标记所在区域图层高度信息的图层高度测量器件；用于基于所述高度信息确定定位标记位置信息的位置确定器件。本发明还提供一种测试方法。本发明提供的测试设备及测试方法基于显示基板上定位标记所在区域图层高度信息确定定位标记位置信息，可精确的确认定位标记的位置信息，以解决定位标记被误抓的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 测试 设备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种测试设备，用于测量显示基板上定位标记的位置，其特征在于，包括：用于测量待测显示基板上定位标记所在区域图层高度信息的图层高度测量器件；用于基于所述高度信息确定定位标记位置信息的位置确定器件；所述位置确定器件基于显示基板上定位标记所在区域不同位置处的高度差值确定定位标记的边界信息；所述位置确定器件基于所述边界信息，确定定位标记的中心点信息，所述定位标记的中心点信息为所述定位标记的位置信息；其中，所述位置确定器件包括第一边界确定单元，用于沿第一方向扫描确显示基板认定位标记的第一边界；第二边界确定单元，用于沿与所述第一方向具有夹角的第二方向扫描显示基板确认定位标记的第二边界。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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