[发明专利]处理装置

摘要

一种处理装置，其包含多个电池运输通道、多个高发热光源以及多个低发热光源。电池运输通道彼此相邻排列，其中每一电池运输通道包含运输装置，且这些运输装置配置以运输多个半导体太阳能电池。高发热光源与低发热光源沿运输装置的运输方向以一交错方式排列于电池运输通道的上方，用以对半导体太阳能电池进行照光加热处理。高发热光源与低发热光源所发出的光包含可见光与红外光，可见光的总和占红外光与可见光的总和的比例为50％至90％。通过交错排列高发热光源与低发热光源，可在提供半导体太阳能电池足够照度的情况下，有效降低处理装置的腔室内的温度，而可大幅降低处理装置的腔室散热的难度，并可减少散热成本，更可提升腔室温度的均匀度。

主权项

一种处理装置，其特征在于，包含：多个电池运输通道，彼此相邻排列，其中每一该电池运输通道包含一运输装置，且所述运输装置配置以运输多个半导体太阳能电池；多个高发热光源；以及多个低发热光源，其中所述高发热光源与所述低发热光源沿所述运输装置的一运输方向以一交错方式排列于所述电池运输通道的上方，用以对所述半导体太阳能电池进行一照光加热处理，其中所述高发热光源与所述低发热光源所发出的光包含可见光与红外光，该可见光的总和占该红外光与该可见光的总和的比例为50％至90％。