[发明专利]真空泵以及质量分析装置有效
| 申请号： | 201610228543.8 | 申请日： | 2016-04-13 |
| 公开（公告）号： | CN106246564B | 公开（公告）日： | 2019-12-03 |
| 发明（设计）人： | 真锅雅嗣 | 申请（专利权）人： | 株式会社岛津制作所 |
| 主分类号： | F04D19/04 | 分类号： | F04D19/04;F04D29/52;G01N30/02;G01N30/72 |
| 代理公司： | 11019 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 寿宁;张华辉<国际申请>=<国际公布>= |
| 地址： | 日本京都府京都*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明是关于一种真空泵以及质量分析装置，提高具有多个吸气口的真空泵的排气性能。真空泵(1)包括：第一泵级(P1)；第二泵级(P2)，设置得比第一泵级(P1)靠泵下游侧；第一吸气口(72)，设置于第一泵级(P1)的吸气侧；以及第二吸气口(73)，设置得比第一泵级(P1)靠下游侧且与第二泵级(P2)连通，并且第一泵级(P1)包含适合于小流量的西格班泵部(35～37)及涡轮分子泵部(31、32)，第二泵级(P2)包含适合大流量的霍尔维克泵部(60～63)。进而，本发明涉及包含所述真空泵的质量分析装置。 | ||
| 搜索关键词： | 真空泵 以及 质量 分析 装置 | ||
【主权项】：
1.一种真空泵，包括：/n第一泵级；/n第二泵级，设置得比所述第一泵级靠泵下游侧；/n第一吸气口，设置于所述第一泵级的吸气侧；以及/n第二吸气口，设置得比所述第一泵级靠下游侧，且与所述第二泵级连通，/n所述真空泵的特征在于：/n所述第一泵级包含适合于小流量的西格班泵部及涡轮分子泵部，/n所述第二泵级包含适合于大流量的霍尔维克泵部，且/n所述第二吸气口设置于所述第二泵级的排气流路的上游端部与下游端部之间，且设置于所述第二泵级的排气流路的中途。/n
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