[发明专利]一种热板抽气装置及其温控方法在审
| 申请号： | 201610212831.4 | 申请日： | 2016-04-07 |
| 公开（公告）号： | CN105892243A | 公开（公告）日： | 2016-08-24 |
| 发明（设计）人： | 王晓龙;陈力钧;李德建;朱骏 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/40 | 分类号： | G03F7/40 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 智云 |
| 地址： | 201203 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种热板抽气装置，包括：具有工艺腔室的箱本体，所述箱本体内容置热板抽气装置的各功能部件；热板，通过承载体固定设置在所述工艺腔室内，并在所述热板上设置待工艺处理之晶圆；抽气单元，与用于检测工艺腔室内之温度的温控单元电连接，并根据所述温控单元之检测温度调控所述抽气单元之输出功率。通过本发明热板抽气装置及其温控方法，可以实时检测工艺腔室内温度，并调控所述抽气单元的输出功率，以维持工艺腔室处于稳定的工艺环境，进而实现光刻胶厚度的均一性，关键尺寸(CD)稳定性、均匀性，以及形状(Profile)的稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 热板抽气 装置 及其 温控 方法 | ||
【主权项】：
一种热板抽气装置，其特征在于，所述热板抽气装置，包括：具有工艺腔室的箱本体，所述箱本体内容置热板抽气装置的各功能部件；热板，通过承载体固定设置在所述工艺腔室内，并在所述热板上设置待工艺处理之晶圆；抽气单元，与用于检测工艺腔室内之温度的温控单元电连接，并根据所述温控单元之检测温度调控所述抽气单元之输出功率。
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