[发明专利]一种β相氮化硅的生产方法及β相氮化硅在审
申请号: | 201610205705.6 | 申请日: | 2016-04-05 |
公开(公告)号: | CN107285287A | 公开(公告)日: | 2017-10-24 |
发明(设计)人: | 张吉武;黄彬;潘小龙;刘兴平;宋娟娟 | 申请(专利权)人: | 新特能源股份有限公司 |
主分类号: | C01B21/068 | 分类号: | C01B21/068 |
代理公司: | 北京天昊联合知识产权代理有限公司11112 | 代理人: | 彭瑞欣,张天舒 |
地址: | 830011 新疆维吾尔自治区乌鲁木齐国*** | 国省代码: | 新疆;65 |
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摘要: | 本发明公开了一种β相氮化硅的生产方法及β相氮化硅,该方法包括以下步骤将原料硅和氮气通入到至少两级串联的流化床装置内进行反应,反应温度为1281~1600℃,得到β相氮化硅。本发明中将原料硅和氮气通入到至少两级串联的流化床装置内在1281~1600℃下反应,通过多级串联的流化床装置从而延长了原料硅和氮气在其内的停留时间,从而提高了原料硅和氮气的接触时间,有利于延长反应时间提高反应效率,进一步提高了生成的β相氮化硅的产率。本发明的制备方法简单、性能可控,且生产周期短,极大地降低了生产成本,适合大规模工业化生产。 | ||
搜索关键词: | 一种 氮化 生产 方法 | ||
【主权项】:
一种β相氮化硅的生产方法,其特征在于,包括以下步骤:将原料硅和氮气通入到至少两级串联的流化床装置内进行反应,反应温度为1281~1600℃,得到β相氮化硅。
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