[发明专利]对准装置在审
| 申请号： | 201610200491.3 | 申请日： | 2016-03-31 |
| 公开（公告）号： | CN107290942A | 公开（公告）日： | 2017-10-24 |
| 发明（设计）人： | 周钰颖;陆海亮 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F9/00 | 分类号： | G03F9/00 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)31237 | 代理人： | 屈蘅,李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种对准装置，包括照明单元、光学单元、探测单元及处理单元；其中，照明单元提供垂直照射对准标记的光源；光学单元将对准标记产生的正级次与负级次的衍射光平行并汇聚到其焦面上；探测单元设置在所述光学单元的焦面，使正、负级次衍射光在探测面上成像；处理单元根据正、负级次衍射光的成像信息得到正负级次衍射光的干涉光强信号，根据所述干涉光强信号随运动台位置变化的关系计算对准位置信息，从而无需使用楔板或复杂棱镜，结构简单，并且对准标记离焦和倾斜不会影响测量精度，实现了高精度测量；可兼容多种测量波长，并且对准标记兼容性好，可测量多方向的光栅型对准标记，亦可兼容不同周期的对准标记，提高了工艺适应性。 | ||
| 搜索关键词： | 对准 装置 | ||
【主权项】：
一种对准装置，用于光刻系统，其特征在于，包括照明单元、光学单元、探测单元及处理单元；其中，所述照明单元，用于提供垂直照射对准标记的光源；所述光学单元，用于将所述对准标记产生的正级次与负级次的衍射光平行并汇聚到其焦面上；所述探测单元，设置在所述光学单元的焦面，使正、负级次衍射光在探测面上成像；所述处理单元，根据正、负级次衍射光的成像信息得到正负级次衍射光的干涉光强信号，根据所述干涉光强信号随运动台位置变化的关系计算对准位置信息。
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