[发明专利]对准装置

权利要求书

1.一种对准装置，用于光刻系统，其特征在于，包括照明单元、光学单元、探测单元及处理单元；其中，

所述照明单元，用于提供垂直照射对准标记的光源；

所述光学单元，用于将所述对准标记产生的正级次与负级次的衍射光平行并汇聚到其焦面上；

所述探测单元，设置在所述光学单元的焦面，使正、负级次衍射光在探测面上成像；

所述处理单元，根据正、负级次衍射光的成像信息得到正负级次衍射光的干涉光强信号，根据所述干涉光强信号随运动台位置变化的关系计算对准位置信息。

2.如权利要求1所述的对准装置，其特征在于，所述光源为单波段光源。

3.如权利要求2所述的对准装置，其特征在于，所述光学单元包括：

第一光学元件，用于将所述对准标记产生的正级次/负级次衍射光偏转后与负级次/正级次衍射光平行；

第二光学元件，用于将正、负级次的衍射光汇聚到后焦面上。

4.如权利要求1所述的对准装置，其特征在于，所述光源为宽波段光源。

5.如权利要求4所述的对准装置，其特征在于，所述光学单元包括：

第一光学元件，用于将所述对准标记产生的衍射光束分离为多个不同波长的光束，并分别将不同波长的正级次/负级次衍射光偏转后与同一波长的负级次/正级次衍射光平行；

第二光学元件，用于将不同波长的正、负级次的衍射光汇聚到后焦面上。

6.如权利要求3或5所述的对准装置，其特征在于，所述第一光学元件设置于正/负级次衍射光的方向上，并垂直设置于所述对准标记平面之上。

7.如权利要求6所述的对准装置，其特征在于，所述第一光学元件为一多面反射镜或一柱面反射镜。

8.如权利要求3或5所述的对准装置，其特征在于，所述第二光学元件为一汇聚透镜。

9.如权利要求3所述的对准装置，其特征在于，所述探测单元包含多个探 测器，每个探测器用于探测同一波长下某一级次的衍射光的干涉信号。

10.如权利要求5所述的对准装置，其特征在于，所述探测单元包含多个探测器，每个探测器用于探测同一级次下某一波长的衍射光的干涉信号。

11.如权利要求3所述的对准装置，其特征在于，所述探测单元包含一个探测器，用于探测不同级次的衍射光的干涉信号。

12.如权利要求5所述的对准装置，其特征在于，所述探测单元包含一个探测器，用于探测不同波长的不同级次衍射光的干涉信号。

13.如权利要求1所述的对准装置，其特征在于，所述照明单元还包括一反射镜，用于使光束垂直照射至对准标记。

14.如权利要求1所述的对准装置，其特征在于，还包括运动台，用于承载所述对准标记，并带动所述对准标记沿光栅周期方向移动。