[发明专利]一种有机薄膜的选择性定向沉积方法在审
申请号: | 201610184475.X | 申请日: | 2016-03-28 |
公开(公告)号: | CN105789486A | 公开(公告)日: | 2016-07-20 |
发明(设计)人: | 马於光;刘琳琳;王蓉 | 申请(专利权)人: | 华南理工大学 |
主分类号: | H01L51/56 | 分类号: | H01L51/56 |
代理公司: | 广州市华学知识产权代理有限公司 44245 | 代理人: | 陈文姬 |
地址: | 510640 广*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明公开了有机薄膜的选择性定向沉积方法,包括以下步骤:将AMOLED基板的薄膜晶体管驱动电路串联到电化学沉积的电解池回路中;通过薄膜晶体管驱动电路控制电解池回路的通断电状态,同时电化学工作站输出电沉积信号;在通电状态的电解池回路的对应的像素电极上沉积得到有机薄膜。本发明通过控制电路的调节以及电解液的更换,可以依次定向沉积红、绿、蓝发光薄膜,制备彩色图案,为有机发光二极管(OLED)的像素制备提供了一种简单、经济的彩色化技术。 | ||
搜索关键词: | 一种 有机 薄膜 选择性 定向 沉积 方法 | ||
【主权项】:
1.一种有机薄膜的选择性定向沉积方法,其特征在于,包括以下步骤:(1)以AMOLED基板的m个像素电极作为工作电极,将AMOLED基板上的薄膜晶体管驱动电路串联到电化学沉积的电解池回路中;所述电化学沉积的电解池回路包括电化学工作站、参比电极、工作电极、辅助电极;m≥1;将所述辅助电极、工作电极置于电解液中;所述辅助电极与电化学工作站连接;m个像素电极分别与薄膜晶体管驱动电路的m个驱动单元连接,薄膜晶体管驱动电路与电化学工作站连接;所述参比电极置于辅助电极、工作电极之间,参比电极与电化学工作站连接;(2)通过薄膜晶体管驱动电路控制电解池回路的通断电状态,同时电化学工作站输出电沉积信号;在通电状态的电解池回路的对应的像素电极上沉积得到有机薄膜;所述驱动单元由一个开关管、一个驱动管、一个电容组成,其中开关管的源极与驱动管的栅极连接,驱动管的源极与像素电极连接,电容的两端分别与驱动管的栅极与漏极连接;所述开关管的栅极与扫描线连接,漏极与数据线连接;所述驱动管的漏极与电源线连接;所述开关管用于寻址,所述驱动管用于控制发光器件的颜色以及灰阶,所述电容用于存储电荷;所述AMOLED基板为1×n阵列,n≥1;所述电化学工作站采用循环伏安法控制电沉积薄膜的沉积过程,像素电极相对于参比电极的电压范围为0~0.835伏,扫描速度为50毫伏/秒,扫描圈数为12圈;在像素电极基板上的第i列沉积有机薄膜的方法如下:将AMOLED基板浸泡到第j种电沉积单体的电解液中,对n列像素电极连接的扫描线施加正栅压;对第i列像素电极连接的数据线施加正栅压,其他列像素电极连接的数据线施加负栅压;电化学工作站给n列像素电极连接的电源线输入电沉积信号;其中,1≤i≤n;j≥1。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件;专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
H01L51-05 .专门适用于整流、放大、振荡或切换且并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的;具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的电容器或电阻器
H01L51-42 .专门适用于感应红外线辐射、光、较短波长的电磁辐射或微粒辐射;专门适用于将这些辐射能转换为电能,或者适用于通过这样的辐射进行电能的控制
H01L51-50 .专门适用于光发射的,如有机发光二极管
H01L51-52 ..器件的零部件
H01L51-54 .. 材料选择
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