[发明专利]一种利用聚焦离子束制备大尺寸透射样品的加工方法

摘要

一种利用聚焦离子束制备大尺寸透射样品的加工方法，包括首先对试样完成顶部保护；然后进行样品提取，提取时保证试样一侧完全与基体相连的情况下，刻蚀样品底面与另外一个侧面，使刻蚀后试样底面能够完全穿透，形成L形的悬臂梁式结构，同时避免试样与基体发生断裂；之后将原位纳米操纵杆与样品进行焊接，在确认样品与基体无粘连后，通过移动原位纳米操纵杆提取出样品，将提取出的样品转移至载样铜网，使原位纳米操纵杆与样品分离，焊接确保样品与铜网两个柱头固定牢靠；最后采用对称切割的方式对样品两面进行均匀减薄，得到透射样品。本发明能够有效地避免透射样品在制备过程中发生弯曲变形。

主权项

1.一种利用聚焦离子束制备大尺寸透射样品的加工方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤一、向试样顶端所需观测部分区域沉积Pt，完成试样顶部保护；步骤二、样品提取；2.1)确定刻蚀面积及刻蚀深度对试样进行初步加工；2.2)完成第一次刻蚀后，倾转载物台，修整试样侧面的锥度；2.3)保证试样一侧完全与基体相连的情况下，利用离子束刻蚀样品底面与另外一个侧面，使刻蚀后试样底面能够完全穿透，形成L形的悬臂梁式结构，同时避免试样与基体发生断裂；2.4)将原位纳米操纵杆与样品进行焊接；2.5)利用离子束将样品与基体连接处切断，在确认样品与基体无粘连后，通过移动原位纳米操纵杆提取出样品；2.6)将提取出的样品转移至载样铜网，沉积Pt使得样品底部两端点与铜网柱头同时紧固，利用离子束刻蚀使原位纳米操纵杆与样品分离，焊接确保样品与铜网柱头固定牢靠；步骤三、采用对称切割的方式对样品两面进行均匀减薄，减薄过程中两面交替减薄，得到透射样品。