[发明专利]高边缘质量蓝宝石晶片的加工方法

摘要

本发明提供了一种高边缘质量蓝宝石晶片的加工方法，其工艺过程主要包括晶片切割、晶片研磨、激光切边、边缘倒角、边缘扫光、化学机械抛光、退火等步骤。本发明主要通过采用激光切割蓝宝石晶片边缘的方式，可显著降低加工后晶片边缘损伤层厚度，减少后续边缘加工所需预留余量。通过边缘倒角、边缘扫光、化学机械抛光和低温退火，可有效降低晶片边缘损伤层厚度，避免晶片因边缘存在裂纹而导致强度大幅下降。

主权项

一种高边缘质量蓝宝石晶片的加工方法，其特征在于它包括以下步骤，首先用多线切割机将蓝宝石晶块或晶棒切割成晶片，研磨后，用激光切割的方式对蓝宝石晶片进行切边，再用倒角机将切割得到的蓝宝石晶片边缘进行边缘倒角，用扫光机对倒角后的蓝宝石晶片进行边缘扫光、化学机械抛光，对抛光片进行退火处理，得到最终的晶片；所述的激光切割，所用激光的频率为550Hz，脉宽为140us，功率为40%，速度为4mm/s；所述的边缘倒角，倒角砂轮使用600目金刚石砂轮，转速为3000rpm，晶片进给速度为0.5mm/min；所述的边缘扫光，采用猪毛、羊毛软质毛刷配合钻石研磨液的方式进行边缘扫光，毛刷转速为10000rpm，进给速度为1mm/min，金刚石磨料粒径3μm，正反面各扫光10min；所述的化学机械抛光，压力为650g/cm2，抛光温度为40℃；所述的退火处理在空气中进行，具体工艺过程为：首先将化学机械抛光后的蓝宝石晶片放入退火炉内，然后以30～200℃/h的升温速度在12h内将退火炉内温度升至900℃，保温10h，最后以30～200℃/h的降温速度在12h内将退火炉内温度降至室温。