[发明专利]一种利用磁控溅射方法制备导电玻璃用陶瓷靶材在审
| 申请号： | 201610158348.2 | 申请日： | 2016-03-17 |
| 公开（公告）号： | CN105777107A | 公开（公告）日： | 2016-07-20 |
| 发明（设计）人： | 谢逊;孙景峰 | 申请（专利权）人： | 江苏新浦电子科技有限公司 |
| 主分类号： | C04B35/457 | 分类号： | C04B35/457;C04B35/622 |
| 代理公司： | 常州市英诺创信专利代理事务所(普通合伙) 32258 | 代理人： | 王美华 |
| 地址： | 213300 江苏省常州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种利用磁控溅射方法制备导电玻璃用陶瓷靶材，本发明属于电容式触摸屏用导电玻璃领域,尤其涉及一种利用磁控溅射方法制备导电玻璃用SnO2陶瓷靶材的配方组成，所述陶瓷靶材的配方组成为：SnO291～98wt.％，Sb2O30.1～6.0wt.％，Bi2WO30.01～2wt.％,LaMnO30.1～4wt.％，ZnO 0.01～1.8wt.％；其中:Bi2WO3、LaMnO3分别是采用常规的化学原料以固相法合成。所制备的陶瓷靶材导电性能好，电阻率小于等于20mΩ·cm；体积密度较高，为5.858g/cm3以上；烧结温度较低，烧结温度低于1380℃；可以降低陶瓷靶材的成本，具有价格低廉、性能稳定、无毒等特点，该陶瓷靶材适合于利用磁控溅射方法制备高性能导电玻璃用靶材。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 利用 磁控溅射 方法 制备 导电 玻璃 陶瓷 | ||
【主权项】：
一种利用磁控溅射方法制备导电玻璃用陶瓷靶材，其特征在于：所述靶材配方包括：SnO2 91～98wt.％，Sb2O3 0.1～6.0wt.％，Bi2WO3 0.01～2wt.％,LaMnO3 0.1～4wt.％，ZnO 0.01～1.8wt.％，其中：Bi2WO3、LaMnO3分别是采用常规的化学原料以固相法合成。
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