[发明专利]基板处理装置

摘要

本发明提供一种基板处理装置。基板处理装置包括：基板保持器具，呈搁板状保持多个基板；处理容器，具有用于收容多个基板以及基板保持器具的内筒、和配置于内筒的外侧的外筒；气体供给部件，与收容于处理容器内的多个基板的被处理面平行地向该被处理面供给处理气体；排气部件，经由气体出口对处理容器内的处理气体进行排气；排气口，设置于内筒的隔着基板保持器具与气体供给部件相对的那一侧的侧壁；整流板，设置于内筒的外周壁或外筒的内周壁的在处理容器的周向上位于排气口和气体出口之间的部分，整流板以从比与基板保持器具的下端相对应的位置靠下方的位置至少朝向上方延伸到与排气口的下端相对应的位置的方式沿着处理容器的铅垂方向设置。

主权项

一种基板处理装置，其中，该基板处理装置包括：基板保持器具，其呈搁板状保持多个基板；处理容器，其具有用于收容所述多个基板以及所述基板保持器具的内筒、和配置于所述内筒的外侧的外筒；气体供给部件，其与收容于所述处理容器内的所述多个基板的被处理面平行地向所述多个基板的被处理面供给处理气体；排气部件，其经由气体出口对所述处理容器内的所述处理气体进行排气；排气口，其设置于所述内筒的隔着所述基板保持器具与所述气体供给部件相对的那一侧的侧壁；整流板，其设置于所述内筒的外周壁或所述外筒的内周壁的在所述处理容器的周向上位于所述排气口和所述气体出口之间的部分，所述整流板以从比与所述基板保持器具的下端相对应的位置靠下方的位置至少朝向上方延伸到与所述排气口的下端相对应的位置的方式沿着所述处理容器的铅垂方向设置。