[发明专利]一种晶硅太阳能电池磷酸浸泡式扩散装置及工艺

摘要

本发明公开了一种晶硅太阳能电池磷酸浸泡式扩散装置及工艺，包括以下结构：悬挂钩、悬挂臂、上料口、硅片花篮、硝酸溶液槽、1#水洗槽、2#水洗槽、磷酸溶液槽及下料口；所述悬挂钩挂于悬挂臂上并可以沿所述悬挂臂运动，所述悬挂钩下部设有用于悬挂硅片花篮的挂钩；所述上料口、硝酸氧化槽、1#水洗槽、2#水洗槽、磷酸溶液槽及下料口依次设置。本发明所带来的有益效果如下：槽式制绒后的硅片可直接放入酸槽内进行氧化扩散，对环境以及设备要求低；磷酸成本更低，更加安全可靠；在相同工艺条件下，方阻均匀性能达到±3左右，使得PN结更加平整；浸泡式扩散工艺对于提高产能和稳定效率起到一定作用。

主权项

一种晶硅太阳能电池磷酸浸泡式扩散装置，其特征在于，包括以下结构：悬挂钩、悬挂臂、上料口、硅片花篮、硝酸溶液槽、1#水洗槽、2#水洗槽、磷酸溶液槽及下料口；所述悬挂钩挂于悬挂臂上并可以沿所述悬挂臂运动，所述悬挂钩下部设有用于悬挂硅片花篮的挂钩；所述上料口、硝酸氧化槽、1#水洗槽、2#水洗槽、磷酸溶液槽及下料口依次设置。