[发明专利]一种晶硅太阳能电池磷酸浸泡式扩散装置及工艺

权利要求书

1.一种晶硅太阳能电池磷酸浸泡式扩散装置，其特征在于，包括以下 结构：悬挂钩、悬挂臂、上料口、硅片花篮、硝酸溶液槽、1#水洗 槽、2#水洗槽、磷酸溶液槽及下料口；所述悬挂钩挂于悬挂臂上 并可以沿所述悬挂臂运动，所述悬挂钩下部设有用于悬挂硅片花 篮的挂钩；所述上料口、硝酸氧化槽、1#水洗槽、2#水洗槽、磷 酸溶液槽及下料口依次设置。

2.一种晶硅太阳能电池磷酸浸泡式扩散工艺，其特征在于，包括以下步 骤：

(1)用悬挂钩将装有制绒后的硅片的硅片花篮由上料口放入装有浓硝 酸的硝酸氧化槽内氧化，氧化时间为60秒，所述浓硝酸的浓度大于90％；

(2)将经步骤(1)处理的硅片通过悬挂钩和悬挂臂先后运至1#水洗 槽和2#水洗槽对硅片进行水洗，去除硅片上残留的硝酸；

(3)将经步骤(2)处理的硅片通过悬挂钩和悬挂臂运至磷酸溶液槽 内浸泡，浸泡时间为50秒，所述磷酸溶液为磷酸、水、酒精混合物，磷酸 比例在0.4％-4％之间，酒精比例为50％-99％；

(4)将经步骤(3)处理的硅片放入甩干机内用氮气高速甩干，甩干 速度为450r/min，时间为350s；

(5)将经步骤(4)处理的硅片背靠背插入石英舟内，置于高温炉管 内在840℃-870℃下进行热扩散。

3.根据权利要求2所述的晶硅太阳能电池磷酸浸泡式扩散工艺，其特征 在于，所述的硝酸溶液和磷酸溶液采用循环系统，使得磷酸和硝酸与硅片 浸泡、氧化更加均匀。

4.根据权利要求2所述的晶硅太阳能电池磷酸浸泡式扩散工艺，其特征 在于，所述的硝酸溶液和磷酸溶液采用自动补液系统，使得硝酸溶液和磷 酸溶液浓度保持一定范围。

5.根据权利要求2所述的晶硅太阳能电池磷酸浸泡式扩散工艺，其特征 在于，为降低花篮印带来的外观影响，甩干过程将制绒面朝上放置。