[发明专利]PI液涂布方法有效
申请号: | 201610143237.4 | 申请日: | 2016-03-14 |
公开(公告)号: | CN105607349B | 公开(公告)日: | 2019-01-11 |
发明(设计)人: | 朱美娜 | 申请(专利权)人: | 深圳市华星光电技术有限公司 |
主分类号: | G02F1/1337 | 分类号: | G02F1/1337 |
代理公司: | 深圳市德力知识产权代理事务所 44265 | 代理人: | 林才桂 |
地址: | 518132 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明提供一种PI液涂布方法,提供了长度分别与基板宽度和长度相等的第一光罩与第二光罩,并在第一光罩和第二光罩宽边所在的边缘设置宽度为框胶宽度的第一遮光区和第二遮光区,超紫外线光源通过第一光罩对基板进行第一次照射后旋转90°,再通过第二光罩对基板进行第二次照射,位于基板上的第二区域经过两次超紫外光照射,有机物浓度较低;第一区域照射次数少于两次,有机物浓度较高,使PI液不易从第二区域扩散至第一区域,以此控制PI液涂布的精度,提升配向膜的品质,减少产品的缺陷。 | ||
搜索关键词: | pi 液涂布 方法 | ||
【主权项】:
1.一种PI液涂布方法,其特征在于,包括以下步骤:步骤1、提供一基板(100)、一超紫外光源(200)、一第一光罩(300)、一第二光罩(400)、及一传送机台(500);所述第一光罩(300)的长度等于基板(100)的宽度;所述第一光罩(300)包括:一第一透光区(320)、及分别位于第一透光区(320)的两端沿所述第一光罩(300)的宽度方向延伸的两条状的第一遮光区(310);所述第二光罩(400)的长度等于基板(100)的长度;所述第二光罩(400)包括:第二透光区(420)、及分别位于第二透光区(420)的两端沿所述第二光罩(400)的宽度方向延伸的两条状的第二遮光区(410);步骤2、将第一光罩(300)设置于超紫外光源(200)下,将基板(100)放置在传送机台(500)上,使基板(100)的一条宽边与第一光罩(300)的一条长边对齐,传送机台(500)开始传送基板(100),超紫外光源(200)经过第一光罩(300)对基板(100)进行照射,直至基板(100)的另一条宽边与第一光罩(300)的另一条长边对齐为止;步骤3、将第二光罩(400)设置于超紫外光源(200)下,将基板(100)旋转90°后再放置在传送机台(500)上,使基板(100)的一条长边与第二光罩(400)的一条长边对齐,传送机台(500)开始传送基板(100),超紫外光源(200)经过第二光罩(400)对基板(100)进行照射,直至基板(100)的另一条长边与第二光罩(400)的另一条长边对齐为止,从而在基板(100)上形成有机物浓度不同的第一区域(110)和第二区域(120),所述第一区域(110)为位于所述基板(100)边缘的经过一次和没有经过超紫外光照射的区域,所述第二区域(120)为位于所述基板(100)中央的经过两次超紫外光照射的区域,所述第一区域(110)包围所述第二区域(120),所述第一区域(110)的有机物浓度大于所述第二区域(120)的有机物浓度;步骤4、将PI液涂布在基板(100)的第二区域(120)。
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