[发明专利]导光装置、薄膜的均匀性测试装置和方法

摘要

本发明公开一种导光装置、薄膜的均匀性测试装置和方法，导光装置用于向一待测试器件输出光线，并回收反射的光线，导光装置包括至少一入射导光件和多个反射导光件，入射导光件与反射导光件均为线形导光件；入射导光件两端分别为入射端和发射端，入射端能与一光源装置光连接，光线经入射端输入至入射导光件；多个反射导光件两端均分别为反射端和输出端，多个反射端与发射端平行对齐，且多个反射端围绕于发射端外周，输出端能与一光学测试装置光线连接；入射导光件的发射端与反射导光件的反射端组成导光装置的测试端，测试端垂直对齐侍测试器件的表面薄膜的均匀性测试装置能以测试输出端导出光线的强度，就可以间接表征起反射作用的薄膜的均匀性。

主权项

一种导光装置，用于向一待测试器件输出光线，并回收从该待测试器件反射的光线，其特征在于，所述导光装置包括至少一入射导光件和多个反射导光件，所述入射导光件与所述反射导光件均为线形导光件；所述入射导光件两端分别为入射端和发射端，所述入射端能与一光源装置光连接，所述光线经所述入射端输入至所述入射导光件，所述发射端向所述待测试器件输出所述光线；所述多个反射导光件两端均分别为反射端和输出端，多个所述反射端与所述发射端平行对齐，且多个所述反射端围绕于所述发射端外周，所述输出端能与一光学测试装置光线连接；所述入射导光件的发射端与所述反射导光件的反射端组成所述导光装置的测试端，所述测试端垂直对齐所述侍测试器件的表面。