[发明专利]一种蓝宝石衬底回收再利用方法在审
| 申请号： | 201610129077.8 | 申请日： | 2016-03-08 |
| 公开（公告）号： | CN105655453A | 公开（公告）日： | 2016-06-08 |
| 发明（设计）人： | 马后永;琚晶;游正璋;李起鸣;谢静超 | 申请（专利权）人： | 映瑞光电科技（上海）有限公司 |
| 主分类号： | H01L33/00 | 分类号： | H01L33/00;H01L21/02 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 智云 |
| 地址： | 201306 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明针对蓝宝石衬底回收再利用的现有技术存在的回收成本较高、处理过程复杂问题，提供了一种蓝宝石衬底回收再利用方法，本方法对图形化蓝宝石衬底和蓝宝石平衬底都可以进行回收再利用，只需要两个步骤：高温烘烤和浓酸高温清洗。该方法流程简单、容易操作、回收周期短、回收效率高，能大大降低回收成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 蓝宝石 衬底 回收 再利用 方法 | ||
【主权项】：
一种蓝宝石衬底回收再利用方法，其特征在于，包括以下步骤：高温烘烤，把完整的待报废的外延片放入烘烤炉进行烘烤，所述高温烘烤的温度为600℃‑1400℃，所述外延片的衬底为蓝宝石衬底；浓酸高温清洗，把经过上述高温烘烤后的外延片进行浓酸高温清洗，所述浓酸的浓度为60％‑99％，所述浓酸高温清洗的温度为60℃‑300℃。
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