[发明专利]精密测长机的遮蔽装置有效
申请号: | 201610121207.3 | 申请日: | 2016-03-03 |
公开(公告)号: | CN105549239B | 公开(公告)日: | 2019-07-16 |
发明(设计)人: | 杨二;马海买提;陈中明 | 申请(专利权)人: | 武汉华星光电技术有限公司 |
主分类号: | G02F1/13 | 分类号: | G02F1/13 |
代理公司: | 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300 | 代理人: | 黄威 |
地址: | 430079 湖北省武汉市*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | 本发明的优选实施例提供了一种精密测长机的遮蔽装置,用于隔绝腔体内外温度交换,所述遮蔽装置包括:遮蔽门,设置于腔体上,用于进行所述腔体的开/关动作;以及至少二热风喷头,设置于腔体之壁面并位于所述遮蔽门的左右两侧,用于当所述遮蔽门打开时喷出干洁气体以防止所述腔体与腔体外界温度交换,保证了精密测长机量测总间距的准确性和稳定性,并起到阻挡灰尘粒子的作用。 | ||
搜索关键词: | 精密 长机 遮蔽 装置 | ||
【主权项】:
1.一种精密测长机的遮蔽装置,用于隔绝腔体内外温度交换,其特征在于,所述遮蔽装置包括:遮蔽门,设置于腔体上,用于进行所述腔体的开/关动作;至少二热风喷头,设置于腔体之壁面并位于所述遮蔽门的左右两侧,用于当所述遮蔽门打开时喷出干洁气体以防止所述腔体与腔体外界温度交换;CDA气源;管路,连接所述CDA气源与所述至少二热风喷头;以及预加热装置,透过所述预加热装置的预加热以形成温度保持在一特定温度的所述CDA气源。
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