[发明专利]精密测长机的遮蔽装置

说明书

本发明的优选实施例提供了一种精密测长机的遮蔽装置，用于隔绝腔体内外温度交换，所述遮蔽装置包括：遮蔽门，设置于腔体上，用于进行所述腔体的开/关动作；以及至少二热风喷头，设置于腔体之壁面并位于所述遮蔽门的左右两侧，用于当所述遮蔽门打开时喷出干洁气体以防止所述腔体与腔体外界温度交换，保证了精密测长机量测总间距的准确性和稳定性，并起到阻挡灰尘粒子的作用。

【技术领域】

本发明涉及一种遮蔽(Shutter)装置，特别涉及一种用于液晶显示领域的精密测长机的遮蔽装置。

【背景技术】

精密测长机TTP(Total Pitch)机台是薄膜晶体管液晶显示器(Thin FilmTransistor-Liquid Crystal Display,TFT-LCD)制程重要的光学量测机台，主要用于TFT基板/CF(彩色滤光片基板)基板第一层图案制作时曝光机曝光精度参数总间距(TotalPitch)的量测，其量测结果直接决定了后续图像制程的曝光对位，以及最终对组贴合的精度。

Total Pitch量测的基本原理是激光的迈克尔逊干涉，通过干涉条纹强度计算距离。激光的稳定性易受温度影响，所以需要保证机台和量测的玻璃均保持在恒温状态，一般是将机台放置于恒温室中，温度保持为23±0.1℃。玻璃则是先进入机台外的冷却缓冲机构(Cooling Buffer),定时恒温后再透过机械手搬入机台量测。

然而，恒温室外界的无尘环境的温度控制在23±0.5℃，在将玻璃搬送入恒温室时，恒温室与外界是相通的，而会造成恒温室温度的细小变化，会导致玻璃进入机台后在量测过程中因温度变化产生热胀冷缩效应，影响Total Pitch的量测准确性和稳定性。

由上可知，业界迫切需要一种运送玻璃时确保恒温室温度保持固定的装置，以提高量测的准确性。

【发明内容】

本发明的个目的在于提供一种精密测长机的遮蔽装置，其透过热风喷头产生热风气流，阻隔了腔体内外的热交换，确保了精密测长机所在的恒温室的温度恒定，防止基板产生温度细微变化，保证了Total Pitch的量测准确性和稳定性，并起到阻挡灰尘粒子的作用。

为解决上述问题，本发明的优选实施例提供了一种精密测长机的遮蔽装置，用于隔绝腔体内外温度交换，所述遮蔽装置包括：遮蔽门，设置于腔体上，用于进行所述腔体的开/关动作；以及至少二热风喷头，设置于腔体之壁面并位于所述遮蔽门的左右两侧，用于当所述遮蔽门打开时喷出干洁气体(Clean Dry Air，CDA)以防止所述腔体与腔体外界温度交换。

在本发明优选实施例的遮蔽装置中，所述遮蔽门是平行所述腔体的壁面往下打开。

在本发明优选实施例的遮蔽装置中，所述干洁气体形成温度均匀的水平的热风气流。

在本发明优选实施例的遮蔽装置中，所述至少二热风喷头包括在所述遮蔽门左侧的三个垂直排列的热风喷头，并包括在所述遮蔽门右侧的三个垂直排列的热风喷头。在本实施例中，所述左侧的三个热风喷头水平对应所述右侧的三个热风喷头。在另一实施例中，所述左侧的三个热风喷头垂直的交错所述右侧的三个热风喷头。

在本发明优选实施例的遮蔽装置中，所述精密测长机的遮蔽装置进一步包括CDA气源，并透过管路连接CDA气源与所述至少二热风喷头。在本实施例中，所述管路上设有温度传感器，以维持喷出CDA的温度。

相对于现有技术，本发明的精密测长机的遮蔽装置透过热风喷头产生水平热风气流，阻隔了腔体内外的热交换，确保了精密测长机所在的腔体的温度恒定，防止玻璃基板产生温度细微变化，进而保证了精密测长机量测Total Pitch的准确性和稳定性，并起到阻挡灰尘粒子的作用。

为让本发明的上述内容能更明显易懂，下文特举优选实施例，并配合所附图式，作详细说明如下：

【附图说明】