[发明专利]用于定向自组装的共聚物配制品、其制造方法以及包含其的物件有效
| 申请号： | 201610108321.2 | 申请日： | 2016-02-26 |
| 公开（公告）号： | CN106125503B | 公开（公告）日： | 2020-01-10 |
| 发明（设计）人： | P·D·休斯塔德;P·特雷福纳斯三世;V·V·金兹伯格;B·金;G·H·弗雷德里克森 | 申请（专利权）人： | 陶氏环球技术有限公司;罗门哈斯电子材料有限责任公司;加利福尼亚大学董事会 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004;G03F7/00 |
| 代理公司： | 31100 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 陆蔚;陈哲锋 |
| 地址： | 美国密*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本文公开一种图案形成方法，其包含在衬底上安置一种组合物，所述组合物包含：嵌段共聚物；其中所述嵌段共聚物包含第一聚合物和第二聚合物；其中所述嵌段共聚物的所述第一聚合物和所述第二聚合物彼此不同并且所述嵌段共聚物形成相分离结构；添加剂聚合物；其中所述添加剂聚合物包含瓶刷聚合物；并且其中所述瓶刷聚合物包含表面能低于或高于所述嵌段共聚物的聚合物；以及溶剂；以及使所述组合物退火以促进所述嵌段共聚物的所述第一聚合物与所述第二聚合物之间的结构域分离，从而形成由所述第一聚合物和所述第二聚合物形成的周期结构域的形态；其中所述周期结构域的纵向轴线与所述衬底平行。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 定向 组装 共聚物 配制 制造 方法 以及 包含 物件 | ||
【主权项】：
1.一种图案形成方法，其包含：/n在衬底上安置组合物，所述组合物包含：/n嵌段共聚物；其中所述嵌段共聚物包含第一聚合物和第二聚合物；其中所述嵌段共聚物的所述第一聚合物和所述第二聚合物彼此不同并且所述嵌段共聚物形成相分离结构；/n添加剂聚合物；其中所述添加剂聚合物包含瓶刷聚合物；并且其中所述瓶刷聚合物包含表面能高于所述嵌段共聚物的聚合物；以及/n溶剂；以及/n使所述组合物退火以促进所述嵌段共聚物的所述第一聚合物与所述第二聚合物之间的结构域分离，从而形成由所述第一聚合物和所述第二聚合物形成的周期结构域的形态；其中所述周期结构域的纵向轴线与所述衬底平行。/n
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