[发明专利]激光诱导阻抗变化测试方法和系统在审
| 申请号： | 201610092010.1 | 申请日： | 2016-02-18 |
| 公开（公告）号： | CN105717170A | 公开（公告）日： | 2016-06-29 |
| 发明（设计）人： | 郝明明;林晓玲;路国光;雷志锋 | 申请（专利权）人： | 工业和信息化部电子第五研究所 |
| 主分类号： | G01N27/20 | 分类号： | G01N27/20 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 李巍;黄青 |
| 地址： | 510610 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及激光诱导阻抗变化测试方法和系统。所述方法包括：将激光器输出的激光转换为特定频率的调制光信号；按照设定的扫描路径将所述调制光信号聚焦到测试样品的表面；对所述测试样品在所述调制光信号作用下产生的电流信号进行处理，使其中频率为所述特定频率的电流分量得以放大，同时其它频率的信号分量受到抑制；根据所述扫描路径以及处理后的电流信号，得到测试样品表面与电流变化对应关系的测试结果。通过本发明，能够消除背景噪声、电源的参数漂移、电磁干扰和激光参数不稳定等消极因素会对测试结果的干扰，提高测试可信度。 | ||
| 搜索关键词： | 激光 诱导 阻抗 变化 测试 方法 系统 | ||
【主权项】：
激光诱导阻抗变化测试方法，其特征在于，包括：将激光器输出的激光转换为特定频率的调制光信号；按照设定的扫描路径将所述调制光信号聚焦到测试样品的表面；对所述测试样品在所述调制光信号作用下产生的电流信号进行处理，使其中频率为所述特定频率的电流分量得以放大，同时其它频率的信号分量受到抑制；根据所述扫描路径以及处理后的电流信号，得到测试样品表面与电流变化对应关系的测试结果。
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