[发明专利]一种变喷口微型固体火箭发动机及其制造方法

摘要

本发明涉及航天技术领域，尤其涉及一种变喷口微型固体火箭发动机及其制造方法，通过干法刻蚀工艺在动力层表面进行刻蚀，能实现变喷口微型固体火箭发动机整体横向设置在动力层，加工工艺流程得到极大简单，加工精度高，制造过程安全可靠，且集成度高；在掩膜版上刻蚀要制造的发动机凹槽的形状时，可根据需求改变尾喷管的加工斜度，使得同一批次生产的变喷口微型固体火箭发动机能满足不同发动机尾喷管结构的加工要求，实现尾喷管的优化设计，提高了推力，加工制造的灵活性得到提高，极大的促进了工业化生产，降低了制造成本。

主权项

一种变喷口微型固体火箭发动机，其特征在于：包括密封层和动力层，所述动力层的上表面开设有发动机凹槽，所述密封层盖合在所述动力层的上表面，所述发动机凹槽包括依次连通的通气槽、燃烧室和尾喷管，所述尾喷管的喷口端与所述动力层的一侧边缘连通，所述通气槽的进口端与所述动力层相对的的另一侧边缘连通；所述通气槽、燃烧室和尾喷管一体成型；所述通气槽、燃烧室与所述尾喷管均沿所述发动机凹槽的中心线设置；所述通气槽的宽度为50um。