[发明专利]一种变喷口微型固体火箭发动机及其制造方法

权利要求书

1.一种变喷口微型固体火箭发动机，其特征在于：包括密封层和动力层，所述动力层的上表面开设有发动机凹槽，所述密封层盖合在所述动力层的上表面，所述发动机凹槽包括依次连通的通气槽、燃烧室和尾喷管，所述尾喷管的喷口端与所述动力层的一侧边缘连通，所述通气槽的进口端与所述动力层相对的的另一侧边缘连通；

所述通气槽、燃烧室和尾喷管一体成型；所述通气槽、燃烧室与所述尾喷管均沿所述发动机凹槽的中心线设置；所述通气槽的宽度为50um。

2.根据权利要求1所述的变喷口微型固体火箭发动机，其特征在于：所述密封层与所述动力层通过键合连接；所述密封层为玻璃层，所述动力层为硅片层。

3.根据权利要求1所述的变喷口微型固体火箭发动机，其特征在于：所述尾喷管沿燃料的喷射方向依次设有收缩段、喉管段和扩张段，所述喉管段用于过渡连接收缩段和所述扩张段。

4.一种制造权利要求1-3任一项所述变喷口微型固体火箭发动机的制造方法，其特征在于，包括以下步骤：

S1.在动力层上涂覆光刻胶；

S2.在掩膜版上刻蚀要制造的发动机凹槽的形状，将S1得到的动力层放置在所述掩膜版下进行曝光，使所述掩膜版上发动机凹槽的形状投射在所述动力层的光刻胶上，导致所述发动机凹槽的形状投射到的光刻胶发生变性；

S3.将S2处理后的动力层进行显影，将所述发生变性的光刻胶去除，使光刻胶下方的动力层的上表面显露出所述发动机凹槽的形状；

S4.对S3得到的动力层进行干法刻蚀，使显露出的动力层表面形成发动机凹槽；

S5.剥离S4得到的动力层上残余的光刻胶；

S6.将S5得到的动力层与密封层连接：在所述S6中，将S5得到的动力层与密封层键合连接，将所述动力层与密封层紧靠在一起，所述动力层接阳极，所述密封层接阴极，进行阳极键合。

5.根据权利要求4所述的变喷口微型固体火箭发动机的制造方法，其特征在于，在所述S1中，先在所述动力层上涂增粘剂，再涂覆光刻胶。

6.根据权利要求4所述的变喷口微型固体火箭发动机的制造方法，其特征在于，在所述S3中，将S2得到的动力层放在显影液中显影。

7.根据权利要求4所述的变喷口微型固体 火箭发动机的制造方法，其特征在于，在所述S4中，对所述显露出的动力层通过保护气体和刻蚀气体的交替反应进行干法刻蚀。

8.根据权利要求4所述的变喷口微型固体火箭发动机的制造方法，其特征在于，在所述S5中，使用剥离剂将所述动力层上残余的光刻胶全部剥离。