[发明专利]一种内置换热器及载气加热装置的多晶铸锭炉

摘要

本发明公开了一种内置换热器及载气加热装置的多晶铸锭炉，包括装配于铸锭炉内用于向炉内输送载气的引流装置、加热器及隔热笼，加热器设置在隔热笼内，引流装置装配在隔热笼的隔热板上，还包括用于加热载气的加热装置及换热器，所述加热装置和换热器设置在铸锭炉内，加热装置设置在隔热笼内，换热器设置在隔热笼外；所述换热器的输入端和载气的输气管连通，输出端和加热装置的输入端连通；所述加热装置的输出端和引流装置的输入端相连通。冷载气依次经换热器、加热装置加热后形成温度较高的热载气，而后将该热载气经引流装置吹射坩埚内的硅料；减少吹射区域液态硅组分的过冷度，降低甚至消除液态硅中由载气所促进的杂质形核以及杂质核生长。

主权项

一种内置换热器及载气加热装置的多晶铸锭炉，包括隔热笼、加热器和导流装置，所述隔热笼为主要由侧隔热板、顶隔热板和底隔热板所构成的腔体，加热器设置在隔热笼内，其特征在于：还包括用于加热载气的加热装置及换热器；所述导流装置至少由配接筒和导流筒构成，所述配接筒包括固定连接的配接筒部和进气部，配接筒部为沿其中心线方向设置通孔的柱体，进气部设置在配接筒部的外部，进气部内设置用于载气流入的进气孔，配接筒部的筒壁内设置与其共中心线的呈环状的下端面开口的第一分流腔，所述进气孔和第一分流腔连通；所述导流筒为沿其中心线方向设置通孔的柱体，导流筒上端部的筒壁内设置与其共中心线的呈环状的上端面开口的第二分流腔，第二分流腔和第一分流腔相对应；所述导流筒的筒壁内设置至少一条自第二分流腔下端面沿着非等螺距的圆柱状螺旋线向下延伸的导流气道，导流气道的出口位于导流筒的下端；所述导流筒的上端部穿过顶隔热板中部的通孔，和设置在顶隔热板上方的配接筒轴向固定连接；所述加热装置和换热器设置在铸锭炉内，加热装置设置在隔热笼内，换热器设置在隔热笼外；所述换热器的输入端和载气的输气管连通，输出端和加热装置的输入端连通；所述加热装置的输出端和导流装置的进气孔连通。