[发明专利]一种内置换热器及载气加热装置的多晶铸锭炉有效
申请号: | 201610082941.3 | 申请日: | 2016-02-03 |
公开(公告)号: | CN105671632B | 公开(公告)日: | 2018-06-05 |
发明(设计)人: | 巢芳家;熊涛涛;刘立中;李子龙;林亮亮 | 申请(专利权)人: | 内蒙古上航新能源有限公司 |
主分类号: | C30B28/06 | 分类号: | C30B28/06;C30B29/06 |
代理公司: | 深圳市兰锋知识产权代理事务所(普通合伙) 44419 | 代理人: | 曹明兰 |
地址: | 014100 内蒙古自治*** | 国省代码: | 内蒙古;15 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 加热装置 载气 隔热笼 换热器 引流装置 连通 加热器 多晶铸锭炉 内置换热器 输出端 输入端 液态硅 铸锭炉 加热 装配 隔热板 过冷度 核生长 输气管 硅料 炉内 形核 坩埚 | ||
1.一种内置换热器及载气加热装置的多晶铸锭炉,包括隔热笼、加热器和导流装置,所述隔热笼为主要由侧隔热板、顶隔热板和底隔热板所构成的腔体,加热器设置在隔热笼内,其特征在于:还包括用于加热载气的加热装置及换热器;所述导流装置至少由配接筒和导流筒构成,所述配接筒包括固定连接的配接筒部和进气部,配接筒部为沿其中心线方向设置通孔的柱体,进气部设置在配接筒部的外部,进气部内设置用于载气流入的进气孔,配接筒部的筒壁内设置与其共中心线的呈环状的下端面开口的第一分流腔,所述进气孔和第一分流腔连通;所述导流筒为沿其中心线方向设置通孔的柱体,导流筒上端部的筒壁内设置与其共中心线的呈环状的上端面开口的第二分流腔,第二分流腔和第一分流腔相对应;所述导流筒的筒壁内设置至少一条自第二分流腔下端面沿着非等螺距的圆柱状螺旋线向下延伸的导流气道,导流气道的出口位于导流筒的下端;所述导流筒的上端部穿过顶隔热板中部的通孔,和设置在顶隔热板上方的配接筒轴向固定连接;所述加热装置和换热器设置在铸锭炉内,加热装置设置在隔热笼内,换热器设置在隔热笼外;所述换热器的输入端和载气的输气管连通,输出端和加热装置的输入端连通;所述加热装置的输出端和导流装置的进气孔连通。
2.根据权利要求1所述的一种内置换热器及载气加热装置的多晶铸锭炉,其特征在于:所述进气孔和第一分流腔通过连通气道连通,所述连通气道的一端部和进气孔相切连通,另一端部和第一分流腔的侧壁相切连通。
3.根据权利要求2所述的一种内置换热器及载气加热装置的多晶铸锭炉,其特征在于:所述加热装置为加热管,加热管的输出端和导流装置的进气孔连通,输入端和换热器的输出端连通。
4.根据权利要求3所述的一种内置换热器及载气加热装置的多晶铸锭炉,其特征在于:所述加热管呈迂回分布,设置于铸锭炉的加热器和隔热笼之间。
5.根据权利要求4所述的一种内置换热器及载气加热装置的多晶铸锭炉,其特征在于:所述加热管为翅片管,设置于加热器的顶加热器和隔热笼的顶隔热板之间。
6.根据权利要求3-5任一权利要求所述的一种内置换热器及载气加热装置的多晶铸锭炉,其特征在于:所述加热管的材质为钼、钨或钛。
7.根据权利要求2所述的一种内置换热器及载气加热装置的多晶铸锭炉,其特征在于:所述换热器包括第一换热器,第一换热器设置在隔热笼的顶隔热板的上方。
8.根据权利要求7所述的一种内置换热器及载气加热装置的多晶铸锭炉,其特征在于:所述换热器还包括第二换热器,第二换热器和第一换热器连通,第二换热器设置在隔热笼的开启闭合处,隔热笼开启时第二换热器对着隔热笼的开口。
9.根据权利要求1-5、7-8任一权利要求所述的一种内置换热器及载气加热装置的多晶铸锭炉,其特征在于:
所述导流气道出口段的螺旋线的螺距逐渐减小,导流气道的出口位于导流筒的下端面;或者,
所述导流气道出口段的螺旋线的螺距逐渐减小、半径逐渐增大,导流气道的出口位于导流筒外侧面的下端或位于导流筒的外侧面和下端面的交处。
10.根据权利要求9所述的一种内置换热器及载气加热装置的多晶铸锭炉,其特征在于:所述导流气道的数量为2个、3个或5个以上,围绕着导流筒的中心线均匀分布。
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