[发明专利]一种高灵敏度压力式传感器及其制作方法

摘要

本发明公开了一种基于聚合物网络结构的高灵敏度压力式传感器及其制作方法，包括聚合物网络结构和导电颗粒，聚合物网络结构具备一定的弹性，可以是规则的或者不规则的，作为支撑骨架分布在整个传感器空间中，导电颗粒均匀地镶嵌在聚合物网络结构中。通过施加外部压力，聚合物网络结构变得更为致密，导电颗粒相互之间接触更为紧密，降低了接触电阻，通过测量传感器电阻，即可确定压力大小。传感器制作过程中，通过引入第三种物质作为填充，后通过特殊方法洗去，降低了弹性模量，提高了传感器的灵敏度。本发明无需真空环境和加温过程，制成周期短，制作简单，成本低廉，适合大规模推广。

主权项

1.一种高灵敏度压力式传感器的制作方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤1)提供聚合物单体、导电颗粒和第三原料；步骤2)将聚合物单体、导电颗粒和第三原料通过磁力搅拌混合；步骤3)将混合物超声波振动；步骤4)将步骤3后的混合物再次进行磁力搅拌混合；步骤5)将步骤4后的混合物灌于由导电电极层和衬底层组成的灌盒中；步骤6)将步骤5后的灌盒混合物曝光；步骤7)将曝光后的灌盒混合物放置在有机溶剂中浸泡；步骤8)将浸泡后的灌盒混合物放在通风橱中挥发有机溶剂；步骤9)将步骤8后的灌盒混合物制成测试。