[发明专利]一种高灵敏度压力式传感器及其制作方法有效
| 申请号： | 201610074310.7 | 申请日： | 2016-02-02 |
| 公开（公告）号： | CN105738013B | 公开（公告）日： | 2018-07-13 |
| 发明（设计）人： | 刘诗雨;胡德春;陆建钢;谢汉萍 | 申请（专利权）人： | 上海交通大学;浙江星星科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01L1/20 | 分类号： | G01L1/20 |
| 代理公司： | 上海旭诚知识产权代理有限公司 31220 | 代理人： | 郑立 |
| 地址： | 200240 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 聚合物网络结构 导电颗粒 压力式传感器 高灵敏度 弹性模量 制作 致密 测量传感器 传感器空间 传感器制作 接触电阻 外部压力 真空环境 支撑骨架 不规则 灵敏度 传感器 电阻 加温 填充 镶嵌 施加 引入 | ||
1.一种高灵敏度压力式传感器的制作方法，其特征在于，包括以下步骤：
步骤1)提供聚合物单体、导电颗粒和第三原料；
步骤2)将聚合物单体、导电颗粒和第三原料通过磁力搅拌混合；
步骤3)将混合物超声波振动；
步骤4)将步骤3后的混合物再次进行磁力搅拌混合；
步骤5)将步骤4后的混合物灌于由导电电极层和衬底层组成的灌盒中；
步骤6)将步骤5后的灌盒混合物曝光；
步骤7)将曝光后的灌盒混合物放置在有机溶剂中浸泡；
步骤8)将浸泡后的灌盒混合物放在通风橱中挥发有机溶剂；
步骤9)将步骤8后的灌盒混合物制成测试。
2.如权利要求1所述的高灵敏度压力式传感器的制作方法，其特征在于，所述第三原料为液晶，所述有机溶剂为丙酮。
3.如权利要求1所述的高灵敏度压力式传感器的制作方法，其特征在于，所述导电颗粒为金属颗粒、透明导电金属氧化物、透明导电有机高分子材料、碳纳米管、石墨烯或银纳米线中的一种。
4.如权利要求1所述的高灵敏度压力式传感器的制作方法，其特征在于，所述导电电极层材料为透明导电金属氧化物、透明导电有机高分子材料或无机材料中的一种；所述衬底层材料为硬质玻璃、柔性玻璃或PET材料。
5.如权利要求4所述的高灵敏度压力式传感器的制作方法，其特征在于，所述透明导电金属氧化物为铟锡氧化物；所述透明导电有机高分子材料为聚乙烯二氧噻吩，所述无机物材料为金属网格、银纳米线、石墨烯或碳纳米管中的一种。
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