[发明专利]工艺气体供应部

摘要

本发明涉及一种工艺气体供应部，其包括：外管，提供第一工艺气体流动所需的通道；第一内管，位于外管的内部，提供第二工艺气体流动所需的通道；气体反应部，位于外管的上部，收纳金属源，通过第二工艺气体和金属源反应，以生成第三工艺气体；第二内管，位于外管的内部，提供第三工艺气体流动所需的通道；第三内管，位于外管的内部，提供第四工艺气体流动所需的通道；至少一个第一气体喷射部，将在外管流动的第一工艺气体供应至外管外部的处理空间；至少一个第二气体喷射部，将在第二内管流动的第三工艺气体供应至外管外部的处理空间；至少一个第三气体喷射部，将在第三内管流动的第四工艺气体供应至外管外部的处理空间。

主权项

一种工艺气体供应部，其特征在于，包括：外管，提供第一工艺气体流动所需的通道；第一内管，位于所述外管的内部，提供第二工艺气体流动所需的通道；气体反应部，位于所述外管的上部，收纳金属源，通过所述第二工艺气体和所述金属源反应，以生成第三工艺气体；第二内管，位于所述外管的内部，提供所述第三工艺气体流动所需的通道；第三内管，位于所述外管的内部，提供第四工艺气体流动所需的通道；至少一个第一气体喷射部，将在所述外管内部流动的所述第一工艺气体供应至所述外管外部的处理空间；至少一个第二气体喷射部，将在所述第二内管内部流动的所述第三工艺气体供应至所述外管外部的所述处理空间；至少一个第三气体喷射部，将在所述第三内管内部流动的所述第四工艺气体供应至所述外管外部的所述处理空间。