[发明专利]位置测量设备有效
| 申请号： | 201610050287.8 | 申请日： | 2016-01-26 |
| 公开（公告）号： | CN105823415B | 公开（公告）日： | 2018-01-02 |
| 发明（设计）人： | P.施佩克巴歇尔;T.格林德尔;J.魏德曼;A.格雷厄姆;D.拜尔 | 申请（专利权）人： | 约翰内斯·海德汉博士有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/00 | 分类号： | G01B11/00 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司72001 | 代理人： | 吴晟,刘春元 |
| 地址： | 德国特劳*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及位置测量设备，利用其通过在至少一个测量方向(X)上的大测量区域实现准确的位置测量，其方式为具有反射的相栅的多个码尺(1，2)彼此相接。在最后的时间如此优化相栅的外形参数，使得其具有非常高相对衍射效率。当前为了可以使用这种码尺作为码尺(1)的现有布置的替代根据本发明新码尺(2)的绝对衍射效率匹配到现有码尺（1），其方式为减小该码尺（2）的相栅的反射率。反射率的减小可以通过设置衰减层(24)实现。 | ||
| 搜索关键词： | 位置 测量 设备 | ||
【主权项】：
一种位置测量设备，具有至少一个第一码尺(1)和至少一个第二码尺(2，2.1)，其彼此相接用于放大测量区域，并且具有具有用于发出光束的光源(41)的探测设备(4)，其中所述第一码尺(1)具有带第一周期性的标志(10)的反射的相栅，其将击中的光束以在给定的衍射级次中的第一衍射效率衍射，其特征在于，所述第二码尺(2，2.1)具有带第二周期性的标志(20，20.1)的反射的相栅，所述第二周期性的标志的外形与第一周期性的标志(10)不同，并且所述第二码尺(2，2.1)的相栅的反射率相对于所述第一码尺(1)的相栅如此减少，使得其将击中的光束以在给定的衍射级次中的第一衍射效率衍射。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于约翰内斯·海德汉博士有限公司，未经约翰内斯·海德汉博士有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201610050287.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
