[发明专利]一种CaCu3Ti4O12薄膜的制备方法

摘要

一种CaCu3Ti4O12薄膜的制备方法，属于功能材料技术领域。包括以下步骤：1)通过高分子辅助沉积法配制含钙铜钛的前驱液；2)将斜切的LaAlO3基片在800～1000℃下热处理1～6小时，得到表面为台阶结构的基片；3)采用旋涂法将前驱液均匀涂覆于步骤2)处理后的基片表面，烘干，得到含钙铜钛的薄膜样品；4)对上步得到的含钙铜钛的薄膜样品热处理，随炉冷却至室温，得到CaCu3Ti4O12薄膜。本发明通过不同斜切角度的斜切基片调控CCTO薄膜的应力，使得制得的薄膜的介电损耗明显降低；且方法简单，成本低廉，具有良好的工艺可控性和重复性，有利于大规模批量化生产。

主权项

1.一种CaCu3Ti4O12薄膜的制备方法，包括以下步骤：步骤1、配制CaCu3Ti4O12的前驱液；步骤2、LaAlO3斜切基片的热处理：将LaAlO3斜切基片放入管式炉中，升温至800～1000℃并保持1～6小时，随炉降温至室温，即得到表面为台阶结构的基片；步骤3、采用旋涂的方法将步骤1配制的前驱液均匀涂覆于步骤2处理后得到的表面为台阶结构的基片表面，烘干，得到含钙铜钛的薄膜样品；步骤4、对步骤3得到的含钙铜钛的薄膜样品进行热处理，然后随炉自然冷却至室温，得到所述的CaCu3Ti4O12薄膜。