[发明专利]一种CaCu3Ti4O12薄膜的制备方法

权利要求书

1.一种CaCu₃Ti₄O₁₂薄膜的制备方法，包括以下步骤：

步骤1、配制CaCu₃Ti₄O₁₂的前驱液；

步骤2、LaAlO₃斜切基片的热处理：将LaAlO₃斜切基片放入管式炉中，升温至800～1000℃并保持1～6小时，随炉降温至室温，即得到表面为台阶结构的基片；

步骤3、采用旋涂的方法将步骤1配制的前驱液均匀涂覆于步骤2处理后得到的表面为台阶结构的基片表面，烘干，得到含钙铜钛的薄膜样品；

步骤4、对步骤3得到的含钙铜钛的薄膜样品进行热处理，然后随炉自然冷却至室温，得到所述的CaCu₃Ti₄O₁₂薄膜。

2.根据权利要求1所述的CaCu₃Ti₄O₁₂薄膜的制备方法，其特征在于，步骤2所述LaAlO₃斜切基片的斜切角度为1.0°、2.5°或5.0°。

3.根据权利要求1所述的CaCu₃Ti₄O₁₂薄膜的制备方法，其特征在于，步骤1所述配制CaCu₃Ti₄O₁₂的前驱液的具体过程为：分别将含钙盐、铜盐、钛盐的混合液与水溶性高分子混合，得到含钙络合物混合液、含铜络合物混合液、含钛络合物混合液，然后按照含钙络合物、含铜络合物、含钛络合物的摩尔比为1:3:4的比例，配制得到含钙铜钛的混合液，作为制备CaCu₃Ti₄O₁₂薄膜的前驱液。

4.根据权利要求1所述的CaCu₃Ti₄O₁₂薄膜的制备方法，其特征在于，步骤4所述热处理的气体气氛为氧化气氛，热处理温度为800～1000℃，热处理时间为1～6小时。