[发明专利]一种水浮式超薄玻璃基板测量平台在审
| 申请号： | 201610022046.2 | 申请日： | 2016-01-14 |
| 公开（公告）号： | CN105571938A | 公开（公告）日： | 2016-05-11 |
| 发明（设计）人： | 李海涛;郭俊杰;杜红枫;何欣荣;邓玉芬;任东旭;王兴 | 申请（专利权）人： | 西安交通大学 |
| 主分类号： | G01N3/02 | 分类号： | G01N3/02 |
| 代理公司： | 西安智大知识产权代理事务所 61215 | 代理人： | 贺建斌 |
| 地址： | 710049*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 一种水浮式超薄玻璃基板测量平台，包括测量机构和与之配合的水浮支撑机构和玻璃运载升降机构，利用水的浮力特性支撑阵列浮块，保证超薄玻璃基板平面各个部位都可以得到有效支撑，有效减小超薄玻璃测量过程中的不合理支撑所造成的人为翘曲变形，保证超薄玻璃测量时尽量处在自然应力状态下，可以给超薄玻璃基板的翘曲度参数一个更为准确的评价。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 水浮式 超薄 玻璃 测量 平台 | ||
【主权项】：
一种水浮式超薄玻璃基板测量平台，包括测量机构和与之配合的水浮支撑机构和玻璃运载升降机构；所述测量机构包括基座(2)，基座(2)下方设置有四个支柱(1)，四个支柱(1)支撑整个测量平台，基座(2)的上方是龙门式三坐标测量机结构；其特征在于：所述水浮支撑机构，包括设置于基座(2)上部的水槽(6)，浮块分隔架(8)设置于水槽(6)内部，浮块分隔架(8)由多行多列的同一尺寸的小方格组成，浮块分隔架(8)的每个方格内部都设置有浮块(16)，浮块分隔架(8)的每个方格四周都有通水孔(19)，水槽(6)的外侧设置有排水孔(3)。
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