[发明专利]一种水浮式超薄玻璃基板测量平台

说明书

技术领域

本发明涉及超薄玻璃测量技术领域，特别涉及一种水浮式超薄玻 璃基板测量平台。

背景技术

随着电子工业的发展，平板显示产品日益呈现出惊人的成长潜力。 作为平板显示产业链的上游产品，TFT-LCD超薄玻璃基板的需求量 显得尤为巨大。在超薄玻璃基板的生产线上，质量控制是不可或缺的 一环，其主要测量参数是玻璃的厚度和翘曲度，它们也是超薄玻璃基 板生产过程中的主要工艺参数。

对超薄玻璃基板进行精确测量是一个行业性的难题，因为它面积 大，极轻薄，又很容易变形与破碎。倘若超薄玻璃本身就有一定的翘 曲变形，将其放在高平面度的水平测量平台上，下凹面与测量平台面 接触，上凸面就会悬空，下凹面与测量平台的接触部分承受玻璃的所 有重量，导致玻璃测量时产生人为的翘曲变形，并不能准确反映超薄 玻璃基板自然应力下的翘曲度参数值。

发明内容

为了克服上述现有技术的缺点，本发明的目的在于提供一种水浮 式超薄玻璃基板测量平台，保证超薄玻璃基板尽量在自然应力状态下 被测量。

为达到上述目的，本发明采用了以下技术方案。

一种水浮式超薄玻璃基板测量平台，包括测量机构和与之配合的 水浮支撑机构和玻璃运载升降机构；所述测量机构，包括基座2，基 座2下方设置有四个支柱1，四个支柱1支撑整个测量平台，基座2 的上方是龙门式三坐标测量机结构；

所述水浮支撑机构，包括设置于基座2上部的水槽6，浮块分隔 架8设置于水槽6内部，浮块分隔架8由多行多列的同一尺寸的小方 格组成，浮块分隔架8的每个方格内部都设置有浮块16，浮块分隔 架8的每个方格四周都有通水孔19，水槽6的外侧设置有排水孔3。

所述玻璃运载升降机构，包括设置于基座2上部、水槽6两侧的 左导轨5和右导轨17，左导轨5和右导轨17上分别设置有两个高低 不同的导轨凹槽11，运载车架7通过其两侧的滑轮10配置于左导轨 5和右导轨17上，运载车架7能够沿左导轨5和右导轨17轴向移动， 运载车架7中间均匀设置有多条张紧钢丝绳9，超薄玻璃基板12放 置在张紧钢丝绳9上面。

本发明的有益效果：

本发明可以有效减小超薄玻璃基板测量过程中的不合理支撑所 造成的人为翘曲变形，保证超薄玻璃基板尽量在自然应力状态下被测 量，可以给超薄玻璃基板的翘曲度参数一个更为准确的评价。

附图说明

图1为本发明左右向轴测图。

图2为本发明主视图。

图3为本发明图3局部视图。

图4为普通测量平台测量原理图。

图5为水浮式测量平台测量原理图。

具体实施方式

下面结合附图对本发明作进一步说明。

如图1、图2和图3所示，一种水浮式超薄玻璃基板测量平台， 包括测量机构和与之配合的水浮支撑机构和玻璃运载升降机构；所述 测量机构包括基座2，基座2下方设置有四个支柱1，四个支柱1支 撑整个测量平台，基座2的上方是龙门式三坐标测量机结构，具体包 括由基座2侧面的电机4驱动的X轴溜板13、Y轴横梁18、Z轴溜 板15，Z轴溜板15上装有光谱聚焦测头14，三个运动轴皆采用气浮 轴承，拥有很高的运动精度；

所述水浮支撑机构，包括设置于基座2上部的水槽6，浮块分隔 架8设置于水槽6内部，浮块分隔架8由多行多列的同一尺寸的小方 格组成，浮块分隔架8的每个方格内部都设置有浮块16，浮块分隔 架8的每个方格四周都有通水孔19，水槽6的外侧设置有排水孔3。

水浮支撑机构的作用是利用水的浮力支撑浮块16，利用阵列浮 块产生的弹性支撑全面有效的支撑玻璃基板平面的每个部位，具体实 施过程如下：水槽6里面有适量的纯净水，可以为浮块16提供浮力， 浮块分隔架8方格的大小比浮块16尺寸稍大，因此，放置在浮块分 隔架8内的浮块16在浮块分隔架8的约束下只能上下运动，每个方 格下部四周都有圆形通水孔19，可以保证每一个方格之间都是想通 的，水可以在它们之间随意流动，保证所有浮块16都处于同一水平 面。