[发明专利]一种光学元件透射反射率测量仪

摘要

本发明提供了一种光学元件透射反射率测量仪，本发明采用斩光器对激光信号进行调制后经分光棱镜分为参考光和入射光，入射光照射光学元件产生透射光和反射光，光电二极管采集参考光、透射光和反射光信号并转换为电信号，电信号经过前置放大器放大后进入锁相放大器，锁相放大器输出与光强成正比的直流电压，透射光和反射光对应的直流电压与参考光对应的直流电压比对，得到光学元件的透射率和反射率。本发明通过设置光学标准片，对测量仪信号放大单元的放大倍数进行校正。本发明结构简单，使用方便，尤其适合在线测量较大尺寸光学元件的透射率和反射率。

主权项

1.一种光学元件透射反射率测量仪，其特征在于，包括激光器（1）、斩光器（2）、分光镜（3）、光电二极管Ⅰ（4）、光电二极管Ⅱ（5）、光电二极管Ⅲ（6）、前置放大器Ⅰ（7）、前置放大器Ⅱ（8）、前置放大器Ⅲ（9）、锁相放大器Ⅰ（10）、锁相放大器Ⅱ（11）、锁相放大器Ⅲ（12）、光学元件卡具（13）、光学标准片（14）和计算机（15）；所述的激光器（1）发出的连续激光经过斩光器（2）调制成脉冲激光，调制后的脉冲激光经过分光镜（3）分成能量相同的两束脉冲激光，一束脉冲激光被光电二极管Ⅰ（4）接收并转换为电信号，电信号经过前置放大器Ⅰ（7）放大和锁相放大器Ⅰ（10）的再次放大后，直接传输到计算机（15）；另一束脉冲激光直接照射在放置于光学元件卡具（13）上的待测光学元件上，进而产生透射脉冲激光和反射脉冲激光，其中的反射脉冲激光被光电二极管Ⅱ（5）接收并转换为电信号，前置放大器Ⅱ（8）接收光电二极管Ⅱ（5）产生的电信号并进行放大，放大后的电信号经过锁相放大器Ⅱ（11）后直接传递给计算机（15）；透射脉冲激光被光电二极管Ⅲ（6）接收并转化为电信号，前置放大器Ⅲ（9）接收光电二极管Ⅲ（6）产生的电信号并进行放大，放大后的电信号经锁相放大器Ⅲ（12）在再次放大后直接传递到计算机（15）；所述的光学元件卡具（13）用来装卡待测光学元件和光学标准片（14），光学标准片（14）用于在测量待测光学元件之前对仪器各放大单元放大倍数的标定，所述的光学标准片（14）的反射率小于等于4%。