[发明专利]一种光学元件透射反射率测量仪有效
申请号: | 201610019864.7 | 申请日: | 2016-01-13 |
公开(公告)号: | CN105510005B | 公开(公告)日: | 2019-01-15 |
发明(设计)人: | 贾宝申;吕海兵;苗心向;周国瑞;牛龙飞;刘昊;邹睿;李可欣 | 申请(专利权)人: | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 |
主分类号: | G01M11/02 | 分类号: | G01M11/02 |
代理公司: | 中国工程物理研究院专利中心 51210 | 代理人: | 翟长明;韩志英 |
地址: | 621999 四*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 光学 元件 透射 反射率 测量仪 | ||
1.一种光学元件透射反射率测量仪,其特征在于,包括激光器(1)、斩光器(2)、分光镜(3)、光电二极管Ⅰ(4)、光电二极管Ⅱ(5)、光电二极管Ⅲ(6)、前置放大器Ⅰ(7)、前置放大器Ⅱ(8)、前置放大器Ⅲ(9)、锁相放大器Ⅰ(10)、锁相放大器Ⅱ(11)、锁相放大器Ⅲ(12)、光学元件卡具(13)、光学标准片(14)和计算机(15);
所述的激光器(1)发出的连续激光经过斩光器(2)调制成脉冲激光,调制后的脉冲激光经过分光镜(3)分成能量相同的两束脉冲激光,一束脉冲激光被光电二极管Ⅰ(4)接收并转换为电信号,电信号经过前置放大器Ⅰ(7)放大和锁相放大器Ⅰ(10)的再次放大后,直接传输到计算机(15);
另一束脉冲激光直接照射在放置于光学元件卡具(13)上的待测光学元件上,进而产生透射脉冲激光和反射脉冲激光,其中的反射脉冲激光被光电二极管Ⅱ(5)接收并转换为电信号,前置放大器Ⅱ(8)接收光电二极管Ⅱ(5)产生的电信号并进行放大,放大后的电信号经过锁相放大器Ⅱ(11)后直接传递给计算机(15);透射脉冲激光被光电二极管Ⅲ(6)接收并转化为电信号,前置放大器Ⅲ(9)接收光电二极管Ⅲ(6)产生的电信号并进行放大,放大后的电信号经锁相放大器Ⅲ(12)在再次放大后直接传递到计算机(15);
所述的光学元件卡具(13)用来装卡待测光学元件和光学标准片(14),光学标准片(14)用于在测量待测光学元件之前对仪器各放大单元放大倍数的标定,所述的光学标准片(14)的反射率小于等于4%。
2.根据权利要求1所述的光学元件透射反射率测量仪,其特征在于,所述的激光器(1)产生的激光为连续激光,且输出功率小于等于20 毫瓦。
3.根据权利要求1所述的光学元件透射反射率测量仪,其特征在于,所述的光电二极管Ⅰ(4)、光电二极管Ⅱ(5)和光电二极管Ⅲ(6)的型号相同。
4.根据权利要求1所述的光学元件透射反射率测量仪,其特征在于,所述的锁相放大器Ⅰ(10)、锁相放大器Ⅱ(11)和锁相放大器Ⅲ(12)的型号相同。
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