[发明专利]低线密度光栅曝光系统在审
| 申请号： | 201610014216.2 | 申请日： | 2016-01-11 |
| 公开（公告）号： | CN105607432A | 公开（公告）日： | 2016-05-25 |
| 发明（设计）人： | 周红艳;盛斌;黄元申;倪争技;陈鹏 | 申请（专利权）人： | 上海理工大学 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G02B5/18 |
| 代理公司： | 上海申汇专利代理有限公司 31001 | 代理人： | 吴宝根 |
| 地址： | 200093 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种低线密度光栅曝光系统，涉及光学系统技术领域，所解决的是全息光栅小角度近距离曝光的技术问题。该系统包括激光发射器、分束镜、第一反光镜、第二反光镜、镀膜板；所述镀膜板是一透明平板玻璃，镀膜板的正面贴附有增透膜，镀膜板的反面贴附有半透半反膜，并且半透半反膜的反射面朝外；该系统具有一个曝光工位，该系统的光路结构为：从激光发射器出发后进入分束镜，再由分束镜分成两条光路，其中的第一条光路从分束镜出发，再穿过镀膜板后到达曝光工位；第二条光路则依次经第一反光镜、第二反光镜射入镀膜板的反面，再由镀膜板反射后到达曝光工位。本发明提供的系统，可用于曝光制作低线密度凹面光栅或平面光栅。 | ||
| 搜索关键词： | 密度 光栅 曝光 系统 | ||
【主权项】：
一种低线密度光栅曝光系统，其特征在于：包括激光发射器、分束镜、第一反光镜、第二反光镜、镀膜板；所述镀膜板是一透明平板玻璃，镀膜板的正面贴附有增透膜，镀膜板的反面贴附有半透半反膜，并且半透半反膜的反射面朝外；该系统具有一个曝光工位，该系统的光路结构为：从激光发射器出发后进入分束镜，再由分束镜分成两条光路，其中的第一条光路从分束镜出发，再穿过镀膜板后到达曝光工位；第二条光路则依次经第一反光镜、第二反光镜射入镀膜板的反面，再由镀膜板反射后到达曝光工位。
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