[发明专利]鳍型装置系统和方法

摘要

本发明揭示一种鳍型装置系统和方法。在特定实施例中，揭示一种制造晶体管的方法，其包含在具有表面的衬底内形成晶体管的栅极，以及在所述衬底内形成内埋氧化物BOX层，所述BOX层在第一BOX层面处邻近于所述栅极。所述方法还包含形成凸起的源极‑漏极通道(“鳍”)，其中所述鳍的至少一部分从所述衬底的所述表面延伸，且其中所述鳍具有邻近于所述BOX层的第二BOX层面的第一鳍面。

主权项

1.一种制造晶体管的方法，所述方法包括：/n在衬底内形成晶体管的第一栅极；/n在所述衬底内形成内埋氧化物层，所述内埋氧化物层具有邻近于所述第一栅极的第一面；以及/n形成具有凸起的细长源极-漏极通道的鳍，其中所述鳍的至少一部分从所述衬底的表面延伸，且其中所述鳍具有邻近于所述内埋氧化物层的第二面的第一鳍面；/n形成第二栅极，所述第二栅极在第二鳍面处邻近于所述鳍，其中所述第二栅极通过第一氧化层与所述第二鳍面分离；以及/n形成第三栅极，所述第三栅极在第三鳍面处邻近于所述鳍，其中所述第三栅极通过第二氧化层与所述第三鳍面分离。/n