[发明专利]一种刻蚀设备

摘要

本发明提供一种刻蚀设备，涉及显示装置的制造领域。其中，刻蚀设备包括：用于使用刻蚀液对基板进行刻蚀的刻蚀室，所述刻蚀室包括侧板和盖板组成；加热机构，用于至少对所述刻蚀室的盖板进行加热，阻止刻蚀过程中挥发的刻蚀液蒸汽在所述盖板上冷凝。本发明的方案通过对刻蚀室盖板进行加热，可以防止刻蚀液蒸汽在盖板冷凝形成滴液，减少液滴滴落在基板上而产生的刻蚀不均现象，从而改善了刻蚀效果。

主权项

1.一种刻蚀设备，包括用于使用刻蚀液对基板进行刻蚀的刻蚀室，所述刻蚀室包括侧板和盖板组成，其特征在于，所述刻蚀设备还包括：加热机构，用于至少对所述刻蚀室的盖板进行加热，阻止刻蚀过程中挥发的刻蚀液蒸汽在所述盖板上冷凝；所述盖板包括一腔体；所述加热机构包括：储存箱，用于存放加热液；加热器，用于对所述储存箱中的加热液进行加热；输送管路，连接所述储存箱的输出端以及所述腔体的输入端；控制器，用于将所述储存箱中的加热液通过所述输送管路输入至所述腔体；回收管路，连接所述腔体的输出端以及所述储存箱的输入端；所述输送管路和所述回收管路均包括由所述控制器控制的液泵以及阀门；流量传感器，用于检测所述输送管路或所述回收管路中的加热液流量；所述控制器还用于，根据检测到的所述输送管路或所述回收管路中的加热液流量，控制所述储存箱对所述腔体输送、回收的加热液，使得所述腔体内的加热液的平均高度为2～5mm。