[发明专利]一种MOCVD系统

摘要

一种MOCVD系统，包括第一腔室和外壳，第一腔室包含环形衬板和排气孔，排气孔位于环形衬板内，系统用于生长外延晶片，所述环形衬板由复数块子衬板和移动件组成，所述子衬板分别通过移动件移动，所述子衬板通过移动实现晶片碎片的清除功能。

主权项

一种MOCVD系统，包括第一腔室和外壳，第一腔室包含环形衬板和排气孔，排气孔位于环形衬板内，系统用于生长外延晶片，其特征在于，所述环形衬板由复数块子衬板和移动件组成，排气孔位于相邻子衬板之间，所述子衬板分别通过移动件移动，所述子衬板通过移动实现晶片碎片的清除功能，移动件包括旋转件或伸缩件；相邻的两块子衬板分别为第一子衬板和第二子衬板；移动件为旋转件时，第一子衬板和第二子衬板各自与旋转件连接，构成一碎片清除装置，旋转件带动第一子衬板和第二子衬板旋转，形成倾倒角度；移动件为伸缩件时，伸缩件控制第一子衬板和第二子衬板伸缩移动，当子衬板缩进伸缩件时，晶片碎片从子衬板上掉落。