[发明专利]检查用照明装置及检查系统

摘要

提供检查用照明装置，即使在被检查对象的特征点产生的光的变化微小，也能在其全视野范围内辨别出该光的变化量，并能在相同条件下检测出该特征点。在所述检查用照明装置(100)中配置有面光源(1)和透镜(2)，该透镜配置于靠近所述检查对象(W)的一侧，使得遮光罩(M1)和滤光单元(F1)中的至少任一者将所述透镜的焦点位置作为中心而位于所述面光源(1)与检查对象(W)之间，从所述面光源(1)放射出的光利用所述透镜(2)向所述检查对象(W)照射时的照射立体角包括具有特定光属性的任意立体角区域，能根据在被检查对象的特征点产生的变化，在其整个视野区域，将所述检查光的照射立体角的形状、大小和倾角以及所述照射立体角内的具有特定光属性的立体角区域设定成大致均匀。

主权项

一种检查用照明装置，是向检查对象照射检查光的检查用照明装置，其特征在于，具有：面光源，射出检查光；透镜，设置在所述面光源与所述检查对象之间，并用于将从所述面光源放射的光作为向所述检查对象照射的检查光，形成对所述检查对象的照射立体角；以及第一遮光罩和第一滤光单元中的至少任一者、或者第三滤光单元，在所述面光源与所述透镜之间设置于以所述透镜的焦点位置为中心的前后，其中，所述第一遮光罩遮光形成向所述检查对象的各点照射的检查光的照射立体角，所述第一滤光单元在所述照射立体角中形成具有特定光属性的立体角区域，所述第三滤光单元整合了所述第一遮光罩和所述第一滤光单元的功能，所述检查用照明装置能够设定所述照射立体角及所述立体角区域的形状或者大小、倾斜度，或者波长带宽、偏光状态、光量等光的属性。