[发明专利]检查用照明装置及检查系统

权利要求书

1.一种检查用照明装置，是向检查对象照射检查光的检查用照明装置，其特征在于，具有：

面光源，射出检查光；

透镜，设置在所述面光源与所述检查对象之间，并用于将从所述面光源放射的光作为向所述检查对象照射的检查光，形成对所述检查对象的照射立体角；以及

第一遮光罩和第一滤光单元、或者第三滤光单元，在所述面光源与所述透镜之间设置于以所述透镜的焦点位置为中心的前后，其中，所述第一遮光罩遮光形成向所述检查对象的各点照射的检查光的照射立体角，所述第一滤光单元在所述照射立体角中形成具有不同光属性的多个立体角区域，所述第三滤光单元整合了所述第一遮光罩和所述第一滤光单元的功能，

所述检查用照明装置能够设定所述照射立体角及所述立体角区域的形状或者大小、倾斜度，以及波长带宽、偏光状态、光量的光属性。

2.根据权利要求1所述的检查用照明装置，其特征在于，

在所述第一遮光罩及所述第一滤光单元与所述面光源之间，且在由所述透镜对所述检查对象成像的附近位置，还具有第二遮光罩和第四滤光单元中的至少任一者，利用所述第二遮光罩或者所述第四滤光单元，能够任意地设定对所述检查对象的检查光的照射区域或者照射形状、照射图案或者光属性。

3.根据权利要求1或2所述的检查用照明装置，其特征在于，

在所述检查用照明装置中，在所述透镜与所述检查对象之间，具有能够改变所述检查光的照射方向且使来自所述检查对象的光透射并被拍摄装置拍摄的半透半反镜，

使所述检查光对所述检查对象的各点的照射立体角与所述拍摄装置对所述检查对象的各点的观察立体角的光轴大致一致。

4.根据权利要求1或2所述的检查用照明装置，其特征在于，

适用于由对在所述检查对象反射或者透射或者散射的光进行拍摄的拍摄装置构成的检查系统，

相对于用所述拍摄装置拍摄来自所述检查对象的光时所形成的对所述检查对象的各点的观察立体角，以在各点的明暗上得到所需的变化的方式，能够设定所述照射立体角及所述立体角区域的形状或者大小、倾斜度，或者所述立体角及所述立体角区域所包含的光属性。

5.根据权利要求3所述的检查用照明装置，其特征在于，

适用于由对在所述检查对象反射或者透射或者散射的光进行拍摄的拍摄装置构成的检查系统，

相对于用所述拍摄装置拍摄来自所述检查对象的光时所形成的对所述检查对象的各点的观察立体角，以在各点的明暗上得到所需的变化的方式，能够设定所述照射立体角及所述立体角区域的形状或者大小、倾斜度，或者所述立体角及所述立体角区域所包含的光属性。

6.一种检查系统，其特征在于，

使用权利要求1至5中任一项所述的检查用照明装置，且由对在所述检查对象反射或者透射或者散射的光进行拍摄的拍摄装置构成，

在用所述检查用照明装置向所述检查对象照射的检查光中，基于所述拍摄装置的在所述检查对象的各点上的观察立体角的形状或者大小、倾斜度，设定所述检查对象的各点上的照射立体角的形状或者大小、倾斜度，或者相对地设定所述照射立体角和所述观察立体角的形状或者大小、倾斜度。