[发明专利]定向脉冲注入微电子系统中用于静电测试

摘要

说明了用于将脉冲注入微电子系统中以进行静电测试的定向脉冲注入系统和方法。一个示例具有变压器，其通过传输线耦合到脉冲源并且耦合到测试板的导电迹线，以将电脉冲施加到迹线作为测试脉冲。测试板连接到被测微电子器件。该示例还具有耦合到脉冲源的抵消脉冲传输线，以及抵消脉冲接触部，该抵消脉冲接触部通过抵消脉冲传输线耦合到脉冲源并且在迹线的与变压器相反的一侧上耦合到迹线，以从脉冲源接收抵消信号，并将抵消信号耦合到迹线以抵消测试脉冲的部分。

主权项

一种装置，包括：脉冲源，所述脉冲源用于产生电脉冲；测试脉冲传输线，所述测试脉冲传输线耦合到所述脉冲源；变压器，所述变压器通过所述传输线耦合到所述脉冲源并且耦合到测试板的导电迹线，以将所述电脉冲施加到所述迹线作为测试脉冲，所述测试板连接到被测微电子器件，其中，所述迹线具有耦合到所述被测器件的接触部；抵消脉冲传输线，所述抵消脉冲传输线耦合到所述脉冲源；以及抵消脉冲接触部，所述抵消脉冲接触部通过所述抵消脉冲传输线耦合到所述脉冲源并且在所述迹线的与所述变压器相反的一侧上耦合到所述迹线，以从所述脉冲源接收抵消信号，并将所述抵消信号耦合到所述迹线以抵消所述测试脉冲的部分。